Установки автоматической дисковой резки материалов серии ADT 7200

Установки автоматической дисковой резки серии ADT 7200  (резка полупроводниковых пластин, кристаллов) производства Advanced Dicing Techlologies (ADT) (Израиль)

 

Advanced Dicing Technologies Ltd. (ADT) - мировой лидер в производстве и разработке систем дисковой резки материалов и систем лазерного скрайбирования. ADT предлагает оборудование для резки материалов с различной степенью автоматизации для удовлетворения любых требований заказчика.

 

 

Автоматические установки для дисковой резки серии ADT 7200:

 

Установки серии ADT 7200 предназначены для прецизионной дисковой резки широкого спектра материалов, разработаны с учетом новейших требований к полупроводниковым компонентам и задают новые стандарты по автоматизации, производительности, простоте настройки и технологическим возможностям.
 

Серия установок ADT 7200 включает три модели – ProDice, MegaDice и GigaDice. Данные установки предлагают широкий набор опций по автоматизации и мониторингу технологического процесса и удовлетворяют высоким требованиям к качеству и производительности в области резки таких компонентов, как: кремний, стекло на кремнии и GaAs-подложки, корпуса типа BGA и QFN, LTCC, кварца, карбида кремния и других твердых материалов.

 

Размеры обрабатываемых пластин: до Ø300мм, разделение групповых заготовок с размерами до 245х234мм

 

Размеры дисков:
2"-3" – модели ProDice, MegaDice
4"-5" – модели GigaDice

 

Шпиндель:
ProDice: Воздушный подшипник, бесщеточные на постоянном токе, 60 тыс. об/мин, 1.2 кВт
MegaDice: Воздушный подшипник, бесщеточные на постоянном токе, 60 тыс. об/мин, 2.4 кВт

Точность по оси индексирования (Y):
Привод: Подающий винт с шарикоподшипником и шаговым двигателем
Управление: Линейный датчик положения
Разрешение: 0.2 мкм
Суммарная точность: 1.5 мкм (пластины Ø200мм)
Суммарная точность: 3 мкм (пластины Ø300мм)
Точность позиционирования: 1.0 мкм

Точность по оси глубины резки (Z):
Приводной: Подающий винт с шарикоподшипником и шаговым двигателем
Разрешение: 0.2 мкм
Точность: 2 мкм
Воспроизводимость: 1 мкм

Ось подачи (X):
Привод: Подающий винт с шарикоподшипником с бесщеточным электромотором постоянного тока
Скорость подачи: до 680 мм/сек

Ось вращения столика (θ):
Приводной механизм: бесщеточный, на постоянном токе, прямой, с обратной связью
Точность поворота: 4"
Воспроизводимость: 4"
Ход: 3500

Система технического зрения:
Цифровая камера, технология "Fire-Wire", яркая светодиодная подсветка (вертикальная и наклонная), плавное цифровое видео масштабирование от х70 до х280 или от х35 до х140 (опция)

Система подачи подложек:
Несущая кассета, сохранение порядка подложек в кассете, контрольное расчерчивание, детектор поломки режущих дисков, устройство отвода электростатического заряда (опция), узел УФ-сушки (опция), считыватель штрих-кодов (опция), наполняющий узел (опция)

Пользовательский интерфейс:
Плоский 15" сенсорный экран, графический пользовательский интерфейс, поддержка многих языков, клавиатура и мышка

 

Пришлите нам запрос на станок по электронной почте info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.