Установка LPCVD для создания графена и углеродных нанотрубок (CNT- Carbon nanotube) от Angstrom Engineering Inc.

Angstrom Engineering Inc. (Канада) - производит установки вакуумного напыления методом магнетронного напыления (sputter deposition), электронно-лучевого испарения (electron beam evaporation), ионного напыления (ion-assisted deposition), резистивного термического испарения (resistive thermal evaporation) и оборудование эмуляции космического пространства.

 

LPCVD установка для создания (осаждения) графена и углеродныx нанотрубок (CNT)

 

LPCVD установка от Angstrom Engineering Inc. выводит заказчиков на новый уровень в исследовании графена и углеродных нанотрубок (CNT).

 

LPCVD установка обеспечивает:

 

- Однородность и контроль температуры процесса в диапазоне от комнатной (КТ) до 1100 оС.

- Очень быстрые циклы нагрева и охлаждения

- Стабильный контроль давления от 100 мТор до 500 Тор

- До 12 газовых линий с контроллерами массового расхода (MFC)

- Полностью безопасная конструкция и дизайн с полностью закрытым кабинетом

 

Установка LPCVD от Angstrom спроектирована для удовлетворения требований высокой скорости нагрева и охлаждения в процессе и высокой температуре процесса при исследовании в технологии создания графена и углеродных нанотрубок.    

Для обеспечения подобных требований инженеры Angstrom разработали водоохлаждаемую печь, которая может достигать температуры 1100 оС и затем быстро охлаждаться. Достижение температуры 1100 оС за 10 минут значительно уменьшает требуемое время процесса. Охлаждение ниже 800 оС производится за 2 минуты обеспечивая контролируемый рост графена. Возможны различные размеры процессных труб для установки пластин от 2 дюймов до 8 дюймов. Установка позволяет работать (конфигурируется) как с единичной загрузкой пластин или кусочков образцов так и с партией пластин диаметром 6 дюймов, например.

 

Графен является 2D углеродным кристаллом. Однослойная структура графена показывает большой потенциал в использовании этого материала для создания изделий тонкопленочной электроники и технологии создания приборов на гибких подложках. Одной из важных свойств графена является прозрачность, гибкость и очень хорошая электрическая проводимость делающая этот материал хорошим кандидатом для использования в качестве TCO слоя во многих устройствах.

 

Для удовлетворения потребностей быстро растущего рынка углеродных нанотрубок, графена и других 2D кристаллов Angstrom предлагает систему обеспечивающую высокопрецизионный контроль и гибкость в  в течение процесса. Система блокировок защищает пользователя от воздействия высоких температур, процессных газов и высокого напряжения, которые присутствует в установке. При отключении PC или PLC сенсор переведет установку в безопасное состояние.

 

Полностью автоматический контроль процесса в системе позволяет пользователям создавать, сохранять сложные рецепты (до 50 шаогв) использую 24-х дюймовый touch screen интерфейс. Данные сохраняются для каждого процесса (data log) и могут быть загружены через USB интерфейс для анализа.   

 

Брошюра - LPCVD установка для создания (осаждения) графена и углеродныx нанотрубок (CNT)...

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас продукцию по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.