Установка вакуумного напыления Evovac производства Angstrom Engineering Inc.

Evovac - установка вакуумного напыления (резистивное термическое испарение - resistive thermal evaporation, магнетронное напыление - sputter deposition, электронно-лучевое испарение - electron beam evaporation, ионное напыление - ion-assisted deposition) производства Angstrom Engineering Inc. (Канада).

 

Angstrom Engineering Inc. (Канада) - стремительно развивающаяся и одна из самых быстро растущих технологических компаний Канады. Компания основанная в 1992 году на сегодняшний момент является глобальным мировым игроком на рынке вакуумного технологического и исследовательского оборудования. Сегодня компания предлагает оборудования для различных процессов вакуумного нанесения пленок, таких как магнетронное напыление (sputter deposition), электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation), ионное напыление (ion-assisted deposition), резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation), а также оборудование для эмуляции космического пространства.

 

 

EVOVAC

 

С расширением популярности линейки установок Åmod система  EVOVAC самая большая по размерам установка позволяющая иметь большую гибкость по сравнению с другими. Улучшения в части большей двери и увеличения размера камеры позволяет устанавливать большие по размеру источники. Установка для исследований требующих установки большего количества различных источников в одной камере.

 

 

Процессы:

резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation), магнетронное напыление (sputter deposition), электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation), ионное напыление (ion-assisted deposition)

 

Обзор:

- Продвинутая система управления на базе ПК.

- Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).

- Длинная дистанция между источниками и подложкой.

- Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).

- Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика.

- Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере.

- 1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой.

- 700мм x 700мм x 500мм (ШхВхГ) камера с выдвижной дверью на петлях (возможна D-образная камера)

- Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.

- Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.

- Диаметр обрабатываемых подложек до 300мм. (пластины большего диаметра по запросу).

- Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)

- Обучение работе на системе на заводе

- 1 год гарантии.

 

Контроль вакуума:

- Автоматический форвакуумный насос

- Сухие насосы (опция)

- Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом

- Крио насосы (опция)

- Пневматически воздушный фильтр

 

Управление процессом осаждения:

- теневая маска и выравнивание подложки

- легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса

- датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом

- конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)

- QCM - изолированный датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников

- Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.

- Нагрев подложки, охлаждение и доп. смещение на подложку

- Планетарное вращение, напыление под углом

 

Брошюра - установки серии Evovac в pdf.

 

Система Evovac (изображения):

 

 

 

Новый держатель пластин с изменяемым углом при испарении на установках Angstrom Engineering Inc.

 

 

 Пришлите нам запрос на интересующую Вас продукцию по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.