Установка вакуумного напыления Nexdep производства Angstrom Engineering Inc.

Nexdep - недорогая установка вакуумного напыления (резистивное термическое испарение - resistive thermal evaporation, магнетронное напыление - sputter deposition, электронно-лучевое испарение - electron beam evaporation, ионное напыление - ion-assisted deposition) производства Angstrom Engineering Inc. (Канада).

 

Angstrom Engineering Inc. (Канада) - стремительно развивающаяся и одна из самых быстро растущих технологических компаний Канады. Компания основанная в 1992 году на сегодняшний момент является глобальным мировым игроком на рынке вакуумного технологического и исследовательского оборудования. Сегодня компания предлагает оборудования для различных процессов вакуумного нанесения пленок, таких как магнетронное напыление (sputter deposition), электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation), ионное напыление (ion-assisted deposition), резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation), а также оборудование для эмуляции космического пространства.

 

NEXDEP

 

Система Nexdep может быть построена согласно требованиям заказчика компактного размера и по экономичной цене.

Система может быть адаптирована под любой процесс: резистивное термическое испарение, магнетронное распыление или электронно-лучевое напыление, ионное напыление.

Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере.   

 

Видео презентация установки...

 

Процессы:

резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation), магнетронное напыление (sputter deposition), электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation), ионное напыление (ion-assisted deposition)

 

 

Обзор:

- ø400мм x 475мм высотой D-образной формы камера с закрепленной на петлях дверью.

- Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).

- Дизайн согласно требованиям заказчика к процессам

- Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере.

- 600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой

- Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.

- Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.

- Диаметр обрабатываемых подложек до 200мм. (пластины большего диаметра по запросу) .

- Обучение работе на системе на заводе

- 1 год гарантии.

 

Контроль вакуума:

- Автоматический форвакуумный насос

- Сухие насосы (опция)

- Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом

- Пневматически воздушный фильтр

 

Управление процессом осаждения:

- теневая маска и выравнивание подложки

- легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса

- датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом

- конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)

- QCM - изолированный датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников

- Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.

- Нагрев подложки, охлаждение и доп. смещение на подложку

- Планетарное вращение

 

Брошюра - установки серии Nexdep в pdf.

 

Система Nexdep (изображения):

 

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас продукцию по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.