Процесс резистивного термического испарения на установках производства Angstrom Engineering Inc. перчаточными боксами.

Angstrom Engineering Inc. (Канада) - производит установки вакуумного напыления методом магнетронного напыления (sputter deposition), электронно-лучевого испарения (electron beam evaporation), ионного напыления (ion-assisted deposition), резистивного термического испарения (resistive thermal evaporation) и оборудование эмуляции космического пространства.

 

Angstrom Engineering Inc. (Канада) - стремительно развивающаяся и одна из самых быстро растущих технологических компаний Канады. Компания основанная в 1992 году на сегодняшний момент является глобальным мировым игроком на рынке вакуумного технологического и исследовательского оборудования. Сегодня компания предлагает оборудования для различных процессов вакуумного нанесения пленок, таких как магнетронное напыление (sputter deposition), электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation), ионное напыление (ion-assisted deposition), резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation), а также оборудование для эмуляции космического пространства.

 

Resistive Thermal Evaporation

Резистивное термическое испарение

 

Резистивное испарение – это процесс осаждения в вакууме, который использует электрическую энергию для нагрева катода, который в свою очередь нагревает осаждаемый материал до такой степени, что испаряет его. Процесс может производиться в очень высоком вакууме, что позволяет увеличить длину свободного пробега атома и уменьшить тем самым возможность загрязнения пленки. Может быть достигнута высокая скорость осаждения. Более низкая энергия частиц может уменьшить эффект повреждения подложки. Angstrom Engineering разработал системы осаждения тонких пленок на основе такой технологии, которые позволяют наносить широкий спектр материалов включая: металлы, органические полимеры и неорганические полимеры. Процесс может контролироваться с использованием QCM (quality control manual), системой температурного и оптического контроля обеспечивающие результаты с высоким качеством и повторяемостью. 

 

Доступные для процесса системы : Covap II NexdepAmod EvovacДругие по запросу

 

Резистивное термическое испарение в оборудовании (изображения):

 

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас продукцию по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.