Установка быстрых термических процессов (RTP) с холодными стенками модели AS-One производства ANNEALSYS 

ANNEALSYS (Франция) - компания разработчик и производитель высококачественных систем для таких процессов как быстрые термические процессы (Rapid Thermal Processing - RTP), быстрый термический отжиг (Rapid Thermal Annealing - RTA), быстрое термическое окисление (Rapid Thermal Oxidation - RTO), химическое осаждение из газовой фазы (Chemical Vapor Deposition - CVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition - MOCVD, SprayCVD), LPCVD. Компания производит установки как для исследований (R&D) так и для мелкосерийного производства. Область применения: Кремний (Silicon), полупроводниковые соединения, микромеханика (MEMS), солнечные элементы, стекло, оптика и т.д. 

 

AS-One - установка быстрых термических процессов (RTP) с холодными стенками:

 

Система быстрых термических процессов с холодными стенками для обработки пластин диаметром до 4 дюймов (100 мм.) и до 6 дюймов (150 мм.) для использования в лабораториях и мелкосерийных  производствах.

 

Применение:

- Быстрый термический отжиг (RTA - Rapid Thermal Annealing),

- Быстрое термическое окисление (RTO - Rapid Thermal Oxidation)

- CVD графена

- CVD углеродных нанотрубок

- Диффузия, отжигконтактов

- Послеимплантационный отжиг

- Отжиг соединений полупроводников

- Нитридизация, Силицидирование, Сульфиризация и Селенизация

- Кристализация и Загустевание и др.

 

Спецификация и описание:

- Быстрая термическая обработка пластин диаметром 4" и 6"

- Компактная напольная конфигурация для экономии места

- Высокая надежность и низкая стоимость владения

- Технология холодных стенок из нержавеющей стали

- Высокая воспроизводимость процесса

- Ультра чистая среда и отсутствие загрязнений

- Высокая скорость охлаждения и низкий эффект памяти

- Высоковакуумная версия (10-6 Торр) доступна

- Кварцевая труба камеры реактора с фланцами из нержавеющей стали

- Пирометр и термопара для контроля температуры

- Быстрый цифровой контроллер температуры PID

 

Исполнение и характеристики:

- Температурный диапазон: от комнатной (RT) до 1500°C (в зависимости от версии)

- Скорость нагрева до 200°C/сек.

- Скорость охлаждения: 100°C/сек со специальным оборудованием

- Возможность смешивать процессные газы

- Контроллеры массового расхода газа

- Вакуум: от атм. (н.у.) до 10-6 Торр с турбомолекулярным насосом

- Измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур.

- Система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows.

 

Брошюра - установка AS-One... 

 

Презентация - установка AS-One...

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас продукцию по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.