Установки групповой термической обработки пластин (диффузионные печи) ATV Technologie GmbH

Многофункциональные системы групповой термической обработки пластин для производства полупроводниковых приборов и солнечных элементов серии PEO производства фирмы ATV Technologie GmbH (Германия):

 

 

ATV Technologie GmbH (Германия)  - компания разработчик и производитель лабораторных настольных диффузионных печей для групповой обработки пластин для полупроводниковой промышленности (НИОКР и мелкая серия).  Печи для атмосферной обработки и LPCVD процессов  (химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении).

 

 

Многофункциональные диффузионные печи серии РЕО - компактные, экономичные установки, способные выполнять множество технологических задач как настольного так и напольного исполнения. Все печи серии оснащены кварцевой быстросъёмной рабочей камерой цилиндрической формы, закрывающейся конической крышкой, которая смонтирована на выдвижной подпружиненной панели загрузочной дверцы. Такая конструкция позволяет достичь хорошей теплоизоляции внутреннего объёма камеры при закрытой дверце. Оси направляющих с шарикоподшипниками обеспечивают плавное закрывание печи. Во время работы печи дверца блокируется. Дверца с автоматическим открыванием / закрыванием предлагается как дополнительное оборудование.

 

Многофункциональные быстродействующие печи серии PEO применяются для осаждения химических паров (LPCVD, MOCVD) поликристаллического кремния, Si3N4, эпитаксии, LTO, термического (сухого и мокрого) окисления SiO2, диффузии, процессов TEOS, POCl3, TCA, выращивания графитовых нанотрубок, осаждения молекулярных слоёв, термического отжига. Печи серии PEO работают в воздушной среде, вакууме, азоте и водороде. Наиболее часто используются для отверждение полиимида, получения сплавов SiAu, SiAl, SiMo, прокаливание диэлектриков, пластин после ионной имплантации, нанесение контактов на пластины в среде азота / паров уксусной кислоты, металлизация без флюса, вжигание толстых плёнок, спекание стекла.

 

 

Печи серии PEO:

 

Технические данные

 

Печь PEO-601

Кварцевая камера: внутр. Ø 112 мм (4 ½ ")

Макс. загрузка: 40 пластин 100 Ø мм, керамические подложки: 40 шт. 2" x 2" или 20 шт. 4" x 4"

Макс. рабочая температура: Стандартное исполнение: 1,000°C, 1,150°C, продолжительная работа, при необходимости возможна более высокая

Нагревание: 6 нагревательных элементов, керамические оси, в проволочной обмотке из сплава, Kanthal®, каждый 1 kW, 2 зоны, легко заменить

Вакуум: макс. 1 x 10 –2 mbar

Электропитание Стандарт: 3 фазы, 400 VAC, 5 проводов, нейтраль, земля, 16 A, макс. 7 kW По заказу: другое

Потребляемая мощность при 1,000°C: < 20%

Габариты: 710 x 650 x 460 мм (28"W x 25"H x 18"D)

Масса: прибл. 45 кг (100 фунтов)

 

Печь PEO-603

Кварцевая камера: внутр. Ø 230 мм (9")

Макс. загрузка: 60 пластин 200 мм Ø, керамические подложки: 400 шт. 2" x 2" или 120 шт. 4" x 4", большие размеры соответственно

Стандартный диапазон температур: 1,000°C, продолжительная работа Макс. температура: 1,150°C, продолжительная работа, при необходимости возможна более высокая

Нагревание: 12 нагревательных элементов, керамические оси в проволочной обмотке из сплава Kanthal®, каждый 1,6 kW, 3 зоны, плюс два дисковых нагревателя – на дверце и в заднем торце камеры Вакуум: макс. 5 x 10 6 mbar

Электропитание Стандарт: 3 фазы, 400 VAC, 5 проводов, нейтраль, земля, 32 A, макс. 22 kW По заказу: другое

Потребляемая мощность при 1,000°C: < 20%

Габариты: 1,000 x 710 x 800 мм (39"W x 28"H x 31"D)

Масса: прибл. 110 кг (245 фунтов)

 

Печь PEO-612

Кварцевая камера: внутр. Ø 336 мм (13 1/4 ")

Макс. загрузка: 30 пластин 300 мм Ø, 60 пластин, 200 мм Ø, керамические подложки: количество зависит от размера

Стандартный диапазон температур: 1,000°C, продолжительная работа Макс. температура: 1,150°C, продолжительная работа, при необходимости возможна более высокая

Нагревание: 12 нагревательных элементов, керамические оси, в проволочной обмотке из сплава Kanthal®, каждый 1,6 kW, 3 зоны, быстросъёмные, плюс два дисковых нагревателя – на дверце и в заднем торце камеры

Вакуум: макс. 5 x 10 6 mbar

Электропитание Стандарт: 3 фазы, 400 VAC, 5 проводов, нейтраль, земля, 32 A, макс. 22 kW По заказу: другое

Потребляемая мощность при t 1,000°C: < 20%

Габариты: 1,200 x 850 x 900 мм (47"W x 33"H x 35"D)

Масса: прибл. 140 кг (310 фунтов)

 

 

Брошюра печи серии PEO-6xx (на английском языке)...

 

Брошюра печи серии PEO-6xx (на русском языке)...

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас систему по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.