Установки электронно-лучевой литографии JEOL

Установки элеткронно-лучевой литографии JEOL (Япония)

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

Компания JEOL предлагает своим заказчикам модельный ряд новейших систем для электронно-лучевой литографии, включающий в себя как лабораторные высокоточные, так и промышленные высокопроизводительные системы.

 

  Электронная пушка Ускоряющее наряжение Минимальный размер пучка Размер пластин Форма пучка Развертка
JBX-3050MV LaB6 single crystal

50 кВ.

 

6 дюймов

(маски)

изменяемая Векторное сканирование
JBX-5500FS ZrO/W
(типа Шотки)
50 кВ / 25 кВ 2 нм.

пластины 100 мм

пятно Векторное сканирование
JBX-6300FS ZrO/W (Schottky) 100 кВ / 50 кВ / 25 кВ 2 нм.

пластины до 200 мм.

пятно Векторное сканирование
JBX-9300FS ZrO/W (Schottky) 100 кВ / 50 кВ 4нм (100 кВ)
7нм (50 кВ)

пластины до 300 мм.

пятно Векторное сканирование

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.