Лазерные и спектроскопические эллипсометры SENTECH Instruments GmbH

Лазерные и спектральные эллипсометры производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) предназначены для многочисленных задач метрологии тонких пленок таких как измерение толщин тонких пленок (однослойных и многослойных пленочных стеков), индекса преломления, коэффициента затухания, отражения, пропускания, измерение шероховатости (при применении меппинга) и др.

 

Метрология тонких пленок и пленочных структур (измерение толщины пленок от 1 нм. до десятков и даже сотен мкм, оптических характеристик) с помощью лазерных эллипсометров (длина волны 632,8 нм), спектроскопических UV-VIS, UV-VIS-NIR эллипсометров (190 нм - 3500 нм.), ИК-фурье эллипсометров (1666 нм - 25000 нм.) и рефлектометров (430-930 нм и 200-1000 нм.).

Лазерные эллипсометры SENTECH:

 

SE 400adv - лазерный эллипсометр. HeNe лазер, длина волны  632.8 нм. Диапазон измерений от 1 - 6000 нм.

 

CER SE 500adv  -  комбинированный лазерный эллипсометр-рефлектометр.

Диапазон измерений: 1 – 25000 нм.Точность измерений 0,1 нм.

       

Спектроскопические эллипсометры для исследований (UV-VIS-NIR-IR)

(измерение толщин и оптических показателей одно- и многослойных пленочных структур, исследования)

 

 SENpro         спектральный диапазон     370 - 1050 нм.

 SE 800:         спектральный диапазон     380 нм – 1000 (2500 или 3500) нм.

 SE 800-E:      спектральный диапазон     240 нм – 1000 (2500 или 3500) нм.

 SE 800 DUV:  спектральный диапазон    190 нм – 1000 (2500 или 3500) нм .

 SE 850 Z:       спектральный диапазон     240 нм – 1700 (2500 или 3500) нм.

 SE 850:         спектральный диапазон     240 нм –  2500 (3500) нм.

 SE 850 DUV:  спектральный диапазон    190 нм – 2500 (3500) нм.

 SE 850 Z DUV:  спектральный диапазон    190 нм – 1700 (3500) нм.

 

 

SENDIRA:   ИК-фурье (инфракрасный)  эллипсометр с ИК-фурье спектрофотометром.               

Спектральный диапазон: 400 см-1 – 6000 см-1 (1666 – 25000 нм)

 

 

SENDURO - высокоточная и высокопроизводительная автоматическая система для измерения толщин тонких пленок на базе UV-VIS спектроскопического сканирующего эллипсометра с возможностью установки кассетной станции для загрузки пластин. Полностью автоматический эллипсометр.

In-situ эллипсометры:

SE 401adv - HeNe лазер, длина волны  632.8 нм.                                 

Диапазон измерений от 1 - 6000 нм.

SE 801adv - UV-VIS спектроскопический эллипсометр.

Рефлектометры:

 

RM 1000 - спектроскопический настольный рефлектометр (430 - 930 нм.)

RM 2000 - спектроскопический настольный рефлектометр (200 - 1000 нм.)

 

Описание программного обеспечения FTPadvancedEXPERT - FTPadvancedEXPERT.pdf

 

 

Презентация компании SENTECH.pdf

 

Пришлите нам запрос на интересующий Вас прибор SENTECH по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отделаоборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.