Установка реактивно-ионного травления RIE ETCHLAB 200

 

ETCHLAB 200 - компактная установка реактивно-ионного травления (RIE) производства SENTECH Instruments GmbH (Германия)

 

Бюджетная система RIE плазменного травления

Возможность апгрейда вакуумным загрузочным шлюзом (опция)

Возможность апгрейда турбомолекулярных насосов (опция)

Программное обеспечение SENTECH Software

Компактный дизайн

Диаметр обрабатываемых пластин до 200мм.

 

 

Система травления ETCHLAB 200 производства SENTECH Instruments GmbH предназначена для использования в НИОКР для реализации процессов сухого плазменного травления. В базовой конфигурации (без вакуумного загрузочного шлюза - фторная химия) система ETCHLAB 200 успешно применяться для широкого спектра процессов, таких как травление диэлектриков (SiO2, Si3N4), полупроводников (Si),  полимеров и металлов (Au, Pt, Ti, Ni).

 

Конфигурация системы:

 

Реактор: диаметр камеры реактора 298мм, AlMgSi 0.5 материал камеры,

Электрод: охлаждаемый электрод, диаметр электрода 215 мм., 4-8 дюймов пластины или держатели для кусочков или более маленьких пластин.

Верхний электрод: алюминиевый электрод с душевым распылителем, центральным окошком для оптической интерферометрии (end-point detection)

Вакуумная система: антикоррозионное исполнение, форвакуумный насос 16 м3/час с фильтрами и маслом фомблин и турбомолекулярный насос

Газы: до 8 газовых линий для подачи реакционных газов с датчиками массового расхода и отсечными клапанами.

ВЧ генератор 13,56 МГц, 600 Вт., воздушное охлаждение

Удаленный контроль

Программное обеспечение SENTECH Software

 

 

 

Опции:

 

Вакуумный загрузочный шлюз

Более мощная вакуумная система, включая турбомолекулярный насос

Добавочные газовые линии для коррозионных и не коррозионных газов

Термостат охладитель

Интерферометр (определение скорости травления, окончания процесса - endpoint detection)

Оптическая эмиссионная спектрометрия (OES)

In-situ лазерная и спектроскопическая эллипсометрия

 

Etchlab с загрузочным шлюзом

 

Пришлите нам запрос на данную установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.