Установки метрологии пластин и тонких пленок FSM (Frontier Semiconductor, Inc.)

Frontier Semiconductor, Inc, (FSM), предлагает широкий выбор передовых метрологических продуктов и решений в производстве полупроводников, LED, Фотовольтатики, FPD, хранения данных и MEMS применений. Компания имеет более чем 25 летний опыт в измерении напряжений пленок, тестирования адгезии пленок, метрологии пластин (топографии, TTV, BOW, WARP, Total wafer thickness) и определения электрических характеристик (4-point probes). Последние разработки включают уникальную технологию для метрологии потребностей производства 3DIC. Компания отгрузила свои первые установки для пластин до 450 мм.

 

Установки серии 128.

Определения напряженности пленок (film stress measurements) и прогиба (BOW)

 

Установки серии 413.

Определение толщины пластины, Warp, TTV, шероховатости

 

Установки серии 500 и 900.

Определение напряженности пленок при t до 500 oC и до 900 oC в вакууме и газовой среде

 

Установка определения адгезии пленки (Adhesion Tester)

 

Установки определения поверхностного сопротивления и утечек (Electrical Char)

 

Установки метрологии VIT (3D-IC)

 

 

 

Пришлите нам запрос на интересующий Вас прибор FSM по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отделаоборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.