AC 1500-P3 / AC 2000-P2 - Cтанки двухсторонней шлифовки и полировки пластин PETER WOLTERS GmbH 

LAPMASTER WOLTERS (бывшая Peter Wolters GmbH (Германия)) - производит и предлагает самый широкий диапазон станков для высокоточной обработки материалов шлифованием и полированием как для машиностроения так и для полупроводниковой промышленности (шлифование и полирование пластин)

 

Являясь дистрибьютором фирмы LAPMASTER WOLTERS (Peter Wolters GmbH) компания предлагает широкий ряд станков от однодисковых и двухдисковых машин для высокоточного шлифования и полирования плоских поверхностей (пластин) с одной и двух сторон для мелкосерийного производства до сложных комплексных решений для задач обработки поверхностей пластин (шлифование и полирования) в крупносерийной производстве полупроводников.

 

Полировка полупроводниковых пластин AC 1500-P3 / AC 2000-P2

AC 1500-P3 / AC 2000-P2 - новое поколение в технологии высокоточной двухсторонней шлифовки и полировки пластин (double sided machine - DSM):

 

Высокопроизводительные станки двухсторонней шлифовки и полировки (double wheel machines или double sided machines) серии AC microLine имеют прогрессивный дизайн и конструктив. Модульная система основных компонентов совместно с точностью управления, измерительными инструментами и технологиями показывают высочайшую надежность и воспроизводимость процессов обработки и делают системы удобными в работе. Станки и системы имеют звукопоглощающую обшивку и защиту области обработки, дающую прекрасную доступность и превосходную безопасность при работе. Для автоматической загрузки и выгрузки деталей (пластин) верхний диск выполнен как поворотно-откидной. 

 

Новые станки из серии AC microLine AC 1500-P3 и AC 2000-P2 от Peter Wolters устанавливаю новые стандарты в полировке полупроводниковых пластин. Основы станка AC 2000-P2 базируются на более 4-х десятилетнем опыте в разработке станков для шлифовки и полировки пластин. Станки  AC 1500-P3 и AC 2000-P2 от Peter Wolters стали на сегодняшний день мировым стандартом в двухсторонней обработке пластин диаметром 200 и 300 мм.

 

Общая функциональная схема станков серии AC microLine:

 

Технические характеристики станка AC 2000-P2:

 

Модель

AC 2000-P2

Диаметр диска, мм

1935

Ширина диска, мм

689

Максимальное давление, daN

3500

Мощность привода верхнего / нижнего шлифовального диска, кВт.

46

Скорость вращения верхнего / нижнего шлифовального диска, об/мин

40

Мощность привода внутреннего зубчатого колеса, кВт.

7,5

Скорость вращения внутреннего зубчатого колеса, об/мин

50

Размеры (ВхШхГ), мм

2900 x 3900 x 4200

Вес, кг.

19000

Загрузка:

 

300 мм (12") пластины, шт.

15

200 мм (8") пластин, шт.

30

Получаемые результаты на 300 мм пластине

 

TTV

<0,4 мкм.

SFQR

< 0,03 мкм

Covered Design Rule

<90 нм.

 

Брошюра - AC microLine AC 2000-P2  (1,5 MB)...

 

Для достижения более высокой производительности и точности обработки станки серии AC microLine могут быть оснащены различными системами автоматизации и загрузки образцов.

Подробнее можно ознакомиться с материалами в брошюре:

Loading systems and automation for AC systems (1,58 MB)...

 

Номенклатура продуктов Peter Wolters:

Брошюра Peter Wolters product range (1,8 MB)...

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас продукцию по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.