Cтанки двухсторонней шлифовки и полировки пластин PETER WOLTERS GmbH 

LAPMASTER WOLTERS (бывшая Peter Wolters GmbH (Германия)) - производит и предлагает самый широкий диапазон станков для высокоточной обработки материалов шлифованием и полированием как для машиностроения так и для полупроводниковой промышленности (шлифование и полирование пластин)

 

Являясь дистрибьютором фирмы LAPMASTER WOLTERS (Peter Wolters GmbH) компания предлагает широкий ряд станков от однодисковых и двухдисковых машин для высокоточного шлифования и полирования плоских поверхностей (пластин) с одной и двух сторон для мелкосерийного производства до сложных комплексных решений для задач обработки поверхностей пластин (шлифование и полирования) в крупносерийной производстве полупроводников.

 

AC microLine

AC microLine - cерия станков AC470-AC2000 высокоточной двухсторонней шлифовки и полировки пластин (double sided machine):

 

Высокопроизводительные станки двухсторонней шлифовки и полировки (double wheel machines или double sided machines) серии AC microLine имеют прогрессивный дизайн и конструктив. Модульная система основных компонентов совместно с точностью управления, измерительными инструментами и технологиями показывают высочайшую надежность и воспроизводимость процессов обработки и делают системы удобными в работе. Станки и системы имеют звукопоглощающую обшивку и защиту области обработки, дающую прекрасную доступность и превосходную безопасность при работе. Для автоматической загрузки и выгрузки деталей (пластин) верхний диск выполнен как поворотно-откидной. 

На станках серии AC microLine можно обрабатывать образцы различной формы, т.е. круглые (например п/п пластины, стеклянные пластины и др.), прямоугольные или нестандартной формы и обрабатывать как всю поверхность образца так и отдельный сегмент или участок поверхности. В зависимости от геометрии образца возможно достичь допусков в микрометры и даже ниже (субмикронные допуска при обработке пластин).

Станки серии AC microLine являются идеальным решением для обработки тонких и хрупких образцов, таких как стекло, полупроводниковые пластины: кремниевые пластины, пластины из структур A3B5 (GaAs, GaN и др.),пластины из сапфира, керамики и др. Метод и процесс обработки прост, гибок и производителен. В процессе обработки (шлифовки или полировки) образцы легко закрепляются в держателях образцов (workpiece carriers) и поэтому свободны от внутренних напряжений, что позволяет обрабатывать столь хрупкие образцы как полупроводниковые пластины. Надежность, безотказность, низкая стоимость использования станка, множество возможностей для применения и автоматизации станка и процессов обработки делают станки серии идеальным решением для двухсторонней шлифовки и является главными особенностями всех систем Peter Wolters.

 

Общая функциональная схема станков серии AC microLine:

 

Линейка станков AC microLine:

 

AC 470-F / L / P
AC 530-F / L / P
AC 640-F
AC 700-F / L / P
AC 1000-F
AC 1200-F / L / P
AC 1500-L / P
AC 2000-L / P

 

Производительность станков серии AC microLine:

 

 

Брошюра - AC microLine - станки двухсторонней шлифовки и полировки пластин (1,1 MB)...

 

Технические характеристики станков AC microLine:

 

Модель

AC 470 AC 530

Версия

F

L.P

F

L.P

Диаметр диска, мм

445/475

445 / 475

534 / 562

534 / 562

Ширина диска, мм

120 / 150 120 / 150 150 / 180 150 / 180

Максимальное давление, daN

250 250 500 / 800 500

Мощность привода верхнего шлифовального диска, кВт.

3,0 2,0 10,0 3,0

Скорость вращения верхнего шлифовального диска, об/мин

50-275 20-100 175 / 350 100

Мощность привода нижнего шлифовального диска, кВт.

3,0 2,0 10,0 3,0

Скорость вращения нижнего шлифовального диска, об/мин

50-275 20-100 175 / 350 100

Мощность привода внутреннего зубчатого колеса, кВт.

1,4 1,4 1,3 1,3

Скорость вращения внутреннего зубчатого колеса, об/мин

20-70 20-70 100 100

Охлаждение шлифовального диска

Опция Лабиринтная (сложная) система охлаждения, замкнутый контур

Управление

ручное ручное Siemens

Пульт оператора

ручное ручное Siemens. 10.4“

Размеры (ВхШхГ), мм

1980 x 1750 x 1300 1900 x 1900 x 1700

Вес, кг.

800 1700

Максимальная высота образцов, мм

30 50

 

Модель

AC 640

AC 700

AC 1000

Версия

F

F

L.P

F

Диаметр диска, мм

640

445 / 475

534 / 562

534 / 562

Ширина диска, мм

180 120 / 150 150 / 180 150 / 180

Максимальное давление, daN

500 250 500 / 800 500

Мощность привода верхнего шлифовального диска, кВт.

7,4 2,0 10,0 3,0

Скорость вращения верхнего шлифовального диска, об/мин

175 20-100 175 / 350 100

Мощность привода нижнего шлифовального диска, кВт.

7,4 2,0 10,0 3,0

Скорость вращения нижнего шлифовального диска, об/мин

175 20-100 175 / 350 100

Мощность привода внутреннего зубчатого колеса, кВт.

1,7 1,4 1,3 1,3

Скорость вращения внутреннего зубчатого колеса, об/мин

80 20-70 100 100

Охлаждение шлифовального диска

Охлаждающая матрица Лабиринтная (сложная) система охлаждения, замкнутый контур Лабиринтная (сложная) система охлаждения, замкнутый контур

Управление

Siemens Siemens Siemens

Пульт оператора

Siemens. 8“ Siemens. 12.4“

Размеры (ВхШхГ), мм

1900 x 1500 x 2200 2100 x 2800 x 2500 2350 x 3400 x 3280

Вес, кг.

2350 3900 8000

Максимальная высота образцов, мм

65 75 100

Характеристики станков AC 1200 - AC2000 в брошюре (1,1 MB)...

 

Для достижения более высокой производительности и точности обработки станки серии AC microLine могут быть оснащены различными системами автоматизации и загрузки образцов.

 

Подробнее можно ознакомиться с материалами в брошюре:

Loading systems and automation for AC systems (1,3 MB)...

 

Номенклатура продуктов Peter Wolters:

Брошюра Peter Wolters product range (1,8 MB)...

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас продукцию по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.