Ионные имплантеры ULVAC (Ion Implantor)

Установки ионной имплантации (Ion Implantor) для промышленного производства и R&D производства ULVAC (Япония)

 

Основанная в 1952 году компания ULVAC INC. является мировым лидером в производстве промышленного и исследовательского вакуумного оборудования. Сегодня ULVAC – это большая корпорация, объединяющая 36 самостоятельных компаний: Ulvac-Riko (Sinko-Riko), Ulcoat, Ulvac Cryogenics, Ulvac Techno, Sanko-Ulvac и др., работающих в области вакуумных технологий. ULVAC – лидер в этой области благодаря колоссальному опыту и команде преданных своему делу профессионалов.

 

Ионные имплантеры ULVAC:

 

Ионный имплантер среднего тока для R&D (в том числе для университетов) и мелкосерийного производства модели IMX-3500

 

IMX-3500 – это усовершенствованная установка для ионной имплантации, работающая на токе средней частоты, обладающая преимуществами простоты эксплуатации и компактности. Установка была разработана на базе UP-150 для университетов, исследовательских учреждений и небольших производственных учреждений.

Источник ионов и блок ускорения луча обладают высокой надежностью и ремонтоспособностью, что было доказано большими продажами установок для ионной имплантации серии IDZ, работающих на токе средней частоты, производства компании ULVAC. Конечная станция состоит из компактной камеры пластинодержателя и камеры загрузочного шлюза, испытанных в UP-150. Системы, включая UP-150, использовались не только для полупроводников, но также для перспективных исследований, таких как изменение свойств поверхности.

 

Технические характеристики:

Диапазон энергии: от 30 до 200 кэВ   (однозарядный ион)

Размер пластины: макс. ø150 мм (6 дюймов)

Система управления:  Настройка пучка ионов; Работа вручную, Транспортировка пластин; вручную,Настройка вакуума; автоматическая

 

 

Ионные имплантеры серии SOPHI – Medium current Ion Implantor SOPHI-200/260

 

SOPHI-200/260 особенности:

размер пластин: от 5 до 8 дюймов

Компактный дизайн

Превосходное исполнение параллельного пучка

применение для ультратонких пластин

 

Применение:

полупроводники

ультратонкие пластины для таких устройств как силовые приборы и т.д.

R&D и исследования

 

 

Высокоэнегетические и высокотемпературный ионный имплантер - High-Temp Ion Implanter for SiC IH-860DSIC

Высокотемпературный имплантер для массового производства SiC устройств.

 

Особенности:

Продолжительная высокотемпературная исплантация

Энергия ионов до 700 кэВ

Последовательная имплантация реализуемая с помощью Программного обеспечения

Компактные размеры

от R&D доя массового производоства

 

Применение:

SiC приборы

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.