Системы с фокусированным ионным пучком фирмы JEOL

Системы с фокусированным ионным пучком производства компании JEOL (Япония)

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

В современной технологии исследования и обработки материалов все большее внимание уделяется квантовым методам, предполагающей использование для целей модификации, резки или формирования поверхностей заданного рельефа управляемых пучков частиц.

В настоящее время наибольшую популярность получили методы основанные на использовании сфокусированных потоков ионов. Чаще всего для этой цели используются ионы галлия, которые будучи сфокусированными в тонкий пучок, в ряде случаев позволяют, помимо модификации поверхности, еще и визуализировать наноразмерную морфологию даже лучше, чем традиционная электронная микроскопия. Совмещение в одном приборе как ионного, так и электронного источников делают этот прибор универсальным исследовательским и технологическим инструментом, хотя и имеющим намного более высокую стоимость, чем обычный растровый электронный или ионный микроскоп.

Таким образом, сфокусированные пучки ионов в настоящее время используются для:

- визуализации наноразмерных поверхностей

- ионной резки, с целью исследования внутренней структуры образца, исследовании внутренних дефектов

- высокоточная ионная обработка, включая ионную полировку, при изготовлении деталей микромеханизмов, оптики высших классов точности (точности долей длины волны), в микро- и наноэлектронике и др.

- для изготовления элементов различных прецизионных систем с заданной микро- и нанотопографией рельефа по-верхности

- для пробоподготовки в просвечивающей электронной микроскопии атомного разрешения

 

Существую различные типы коммерческих систем, использующих сфокусированный ионный пучок, имеющие разные названия у разных производителей («FIB», «dualbeam», «crossbeam», «multibeam», и др.). JEOL является одним из пионеров в этой области, реализующим данную технологию в своих приборах более 30 лет.

Линейка продукции фирмы JEOL включает три основных типа исследовательских систем со сфокусированным ионным пучком:

JEOL JEM-9320FIB - ионный микроскоп и система пробоподготовки

 

JEOL JIB-4600F - двухлучевая (ионно-электронная) система с термополевым источником электронов Шоттки

 

JEOL JIB-4500 - двухлучевая (ионно-электронная) система с термоэмиссионным источником электронов LaB6

 

Помимо исследовательских систем, JEOL также выпускает промышленные установки с высокоэнергетичными сфокусированными ионными пучками с энергиями до 100 кВ.

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас систему по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.