Notice: Undefined index: jeoljem9320fib in /home/eavangard/eavangard-micro.ru/docs/index.php on line 6
ООО "ЭНЕРГОАВАНГАРД" |

Ионный микроскоп и система пробоподготовки фирмы JEOL

JEOL JEM-9320FIB - ионный микроскоп и система пробоподготовки производства компании JEOL (Япония)

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

 

Система сфокусированного ионного пучка JEM-9320FIB предназначена для модификации образцов тонкосфокусированным пучком ионов галия. Пушка с источником из жидкого галия обеспечивает токи до 30 нА при малом диаметре зонда.

 

Пучок ионов фокусируется при помощи системы электростатических линз и сканирует поверхность образца, который, в свою очередь, испускает вторичные электроны, результатом детектирования которых являются изображения растровой ионной микроскопии (SIM).

 

При больших токах пучка JEM-9320FIB производит высокоскоростную точечную модификацию образца путем ионного травления. Вытравливаемая область может являться прямоугольником, линией или точкой.

 

Прибор может изготавливать тонкие образцы (из широкого класса материалов) для просвечивающих и растровых электронных микроскопов. Также он делает возможным получение поперечных срезов образцов РЭМ.

 

Основные технические характеристики JEM-9320FIB:

Источник ионов Ga-источник, 5 – 30 кВ

Ускоряющее напряжение

5-30кВ (с шагом 5кВ)

Увеличение х50 (в режиме обзора), х150 – x300,000
Разрешение 6 нм (при 30 кВ)
Максимальный ток пучка 30 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ)
Диафрагма моторизованная, с 5 отверстиями
Столики образцов 1) боковой гониометрический для держателей ПЭМ;
2) для держателей РЭМ

 

 

Пришлите нам запрос на систему по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.