Просвечивающие электронные микроскопы JEOL

JEOL JEM-ARM200F - 200-киловольтный просвечивающий электронный микроскоп сверх высокого разрешения (ПЭМ) производства компании JEOL (Япония)

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

Фирма JEOL производит просвечивающие электронные микроскопы (ПЭМ) с 1949г. Сегодня она выпускает различные модели ПЭМ, с диапазоном ускоряющих напряжений от 100кэВ до 1000кэВ.

JEM-ARM-200F - Самое высокое в мире гарантируемое разрешение в просвечивающем растровом режиме с темнопольным детектором (STEM-HAADF) составляет 0,08 нм.

 

JEM-ARM200F – прибор, анонсированный компанией JEOL в марте 2009 г. Эта модель оснащается штатным встроенным корректором сферических аббераций для ПРЭМ режима. Благодаря корректору удалось значительно повысить разрешение и аналитические возможности этого прибора, открывающие возможности изучения образцов на атомном уровне. Разрешение в растровом просвечивающем режиме составляет (STEM-HAADF) 0,08 нм, что является наивысшим значением в мире среди серийных моделей электронных микроскопов.

 

Электронный зонд после коррекции всех аберраций отличается тем, что он имеет на порядок большую плотность тока по сравнению с обычными просвечивающими электронными микроскопами. При тонкой фокусировке такого зонда микроскоп JEM-ARM200F позволяет проводить анализ на атомном уровне при значительном сокращении времени измерения и повышения производительности исследований.

 

JEM-ARM200F—квинтэссенция всех передовых разработок компании JEOL в области просвечивающей электронной микроскопии. Гарантированные характеристики этого ПЭМ, а также его стоимость, превосходят заявляемые параметры любого из ныне существующих на рынке просвечивающих электронных микроскопа.

 

Повышенная электрическая стабильность

Для достижения атомного разрешения, источник высокого напряжения и блоки питания линз электронно-оптической системы должны быть высоко стабильными. В микроскопе JEM-ARM200F флуктуации высокого напряжения и тока объективной линзы снижены на 50% по сравнению с обычными моделями, что существенно повышает электрическую стабильность всего микроскопа в целом.

 

Этот микроскоп позиционируется, прежде всего, как исследовательский инструмент высочайшего класса, хотя может использоваться для решения и технологических задач.

 

Основные технические характеристики:

Разрешение  0.08 нм (в режиме  STEM, при 200кВ, с детектором темного поля);

 0.11 nm (в режиме ПЭМ: при 200кВ, с корректором сферических аберраций для системы формирования изображения),

 0,19нм (при 200кВ)

Электронная пушка с катодом Шоттки

Ускоряющее напряжение

от 80кВ до 200 кВ

Диапазон увеличений  от 100х до х150 000 000х в режиме STEM

 от 50х до 2 000 000х в режиме ПЭМ

Столик образцов

Эвцентрического типа

Гониометр бокового ввода

Размер образцов 3мм диаметр
Угол наклона образцов ±25° (с держателем с двойным наклоном)
Перемещение образца X/Y: ±1 mm (моторизованный столик/ пьезоподвижка)
Корректор сферических аберраций

Для электронно-оптической системы – стандартно

 

Для системы формирования изображения – опционально

Основные опции

Энергодисперсионный спектрометр

 

Спектрометр характеристических потерь энергии электронов

 

Цифровая камера

 

Повышенная механическая стабильность

Для обеспечения анализа и получения изображений на атомном уровне с использованием корректоров сферических аберраций для электронной оптики и проекционной системы, вибрации и дисторсии системы должны контролироваться также на атомном уровне. Прочность механической конструкции модели ARM200F по сравнению с обычными ПЭМ была повышена путем увеличения диаметра колонны для улучшения ее жесткости и путем оптимизации структуры консоли, улучшающей механическую стабильность всей системы.

 

Широкий спектр аналитических возможностей в просвечивающем растровом режиме(STEM)

Одновременно устанавливаются: два вида темнопольных детекторов с различными углами детектирования в STEM режиме (один в стандартной комплектации), светлопольный детектор (стандартная комплектация), детектор отраженных электронов (опционально). Новая сканирующая система сбора изображения одновременно получает до 4-ёх различных сигналов, и позволяет наблюдать 4 изображения одновременно.

 

Контроль влияния внешней среды

Вибрации и искажения на атомном уровне зачастую вызваны изменениями температуры и магнитных полей в комнате с микроскопом. ARM200F экранирован от температурных и магнитных флуктуаций в стандартной комплектации. Колонна изолирована кожухом от температурных колебаний вызванных конвекцией воздуха в помещении.

 

Корректор сферических аберраций для системы формирования ПЭМ изображения (опционально)

При использовании корректора сферических аберраций для системы формирования изображения в ПЭМ режиме, разрешение может быть улучшено до 0.11 нм.

 

Пришлите нам запрос на  просвечивающий электронный микроскоп по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.