Бюджетная двухлучевая (ионно-электронная) MultiBeam система фирмы JEOL

JEOL JIB-4500 Multibeam - бюджетная двухлучевая (ионно-электронная) система с автоэмиссионным LaB6 источником электронов и ионной пушкой для микротравления производства компании JEOL (Япония)

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

 

JEOL JIB-4500 MultiBeam – это недорогой в обслуживании высокопроизводительный растровый электронный микроскоп (РЭМ) с катодом из гексаборида лантана + высокопроизводительная приставка со сфокусированным ионным пучком (Focused ion beam).

 

Прибор оснащен высокочувствительными детекторами, которые могут работать одновременно в режиме реального времени.

 

В JIB-4500 реализована запатентованная технология резки и трехмерной реконструкции S3 TM, которая позволяет формировать различные объемные структуры.

 

Прибор может оснащаться инжекторами для напыления чувствительных и проводящих образцов углеродом или вольфрамом.

 

Также, непосредственно в камеру образцов данного прибора возможна установка наноманипуляторов серии Omniprobe, которые позволяют производить различные механические манипуляции с модифицируемыми объектами.

 

Основные технические характеристики JEOL JIB-4600F:

СФОКУСИРОВАННЫЙ ИОННЫЙ ПУЧОК (СИП) ДЛЯ МИКРОТРАВЛЕНИЯ

Источник ионов

Ga-источник, 5 – 30 кВ, 30 нА (на 30 кВ)

Разрешение

5 нм (при 30 кВ)

Максимальный ток ионов

30 нA (при 30 кВ)

Увеличение

x30, х100 – x300,000

РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП (РЭМ)

Источник электронов

LaB6, 0.3 – 30 кВ, 1 мкА

Увеличение

x5 – x1,000,000

Разрешение

2.5 нм (30 кВ)

Столик образцов

гониометрический (X: 76 мм, Y: 76 мм, Z: 5-48 мм)

 

 

Система фигурного ионного травления

Позволяет проводить фигурное напыление и травление в соответствие с данными бинарного изображения, записанными в виде BMP-файла.

Поддерживает режим трехмерного нанотравления с непрерывным доступом к многочисленным данным, записанных в виде файлов изображений

 

Стандартная шлюзовая система для быстрой и простой загрузки образцов в камеру образцов без нарушения вакуума

Обеспечивает быструю загрузку образцов через шлюз Максимальный размер загружаемого через шлюз образца: пластина диаметром 150 мм

 

Контроль травления в реальном времени

Получение изображения в РЭМ одновременно с процессом ионного травления. ;

 

Полный набор портов для установки всех видов приставок

Большой столик позволяет проводить травление образцов диаметров до 76 мм

 

Выполнение серии последовательных тонких срезов и реконструкция трехмерного изображения

Наблюдение за последовательно выполняемыми тонкими срезами

 

Вспомогательная телекамера для наблюдения за камерой образцов для уточнения перемещений образца

Эффективна для уточнения взаиморасположения образца по отношению к различным частям камеры образцов, включая систему инжекции газа.

 

Дружественный, простой в понимании компьютерный интерфейс пользователя 

Современный, четко читаемый Графический интерфейс пользователяя

Визуальное интуитивное управления от настройки рабочих условий РЭМ/ФИТ до проведения процесса травления и наблюдения за конечным результатом обработки

 

Аналитические приставки и опции:

 

- система энергодисперсионного микроанализа

- система анализа дифракции отражённых электронов

- система спектрального анализа катодолюминесценции

- детектор прошедших электронов

- ИК камера для обзора образцов

- система нагнетания газа (GIS) x3

- Наноманипулятор (система)

- Детектирование зондового тока

- Азотная ловушка

- система запирания пучка (Beam blanking device)

- программное обеспечение для трехмерной реконструкции

 

 

Пришлите нам запрос на систему по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.