Двухлучевая (ионно-электронная) MultiBeam система фирмы JEOL

JEOL JIB-4600F Multibeam - двухлучевая (ионно-электронная) система с термополевым источником электронов Шоттки для ионной пушкой для микротравления производства компании JEOL (Япония)

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

 

JIB-4600F MultiBeam —гибридная система, сочетающая в себе высокоразрешающий РЭМ и систему со сфокусированным ионным пучком для микротравления (послойное травление образцов).

 

РЭМ позволяет позиционировать ионный пучок в место травления с высокой точностью и визуализировать процесс травления с разрешением до 1.2 нм.

 

Благодаря высокому току зонда (до 200 нА), прибор позволяет эффективно использовать приставки для микроанализа (ЭДС, ДОРЭ), а большое количество портов открывают широкие возможности по дооснащению прибора различными приставками.

 

Также, непосредственно в камеру образцов данного прибора возможна установка наноманипуляторов серии Omniprobe, которые позволяют производить различные механические манипуляции с модифицируемыми объектами.

 

Основные технические характеристики JEOL JIB-4600F:

СФОКУСИРОВАННЫЙ ИОННЫЙ ПУЧОК (СИП) ДЛЯ МИКРОТРАВЛЕНИЯ

Источник ионов

Ga-источник, 1 – 30 кВ, 30 нА (на 30 кВ)

Разрешение

5 нм (при 30 кВ)

Максимальный ток ионов

30 нA (при 30 кВ)

Увеличение

x30, х100 – x300,000

РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП (РЭМ)

Источник электронов

ZrO/W (100) Шоттки, 0.2 – 30 кВ, 200 нА

Увеличение

x50 – x1,000,000

Разрешение

1.2 нм (30 кВ) 3.0 нм (1 кВ)

Столик образцов

гониометрический (X: 50 мм, Y: 50 мм, Z: 1,5-40 мм)

Аналитические приставки и опции:

 

- система энергодисперсионного микроанализа

- система анализа дифракции отражённых электронов

- система спектрального анализа катодолюминесценции

- детектор прошедших электронов

- ИК камера для обзора образцов

- система нагнетания газа (GIS) x3

- Наноманипулятор (система)

- Детектирование зондового тока

- Азотная ловушка

- система запирания пучка (Beam blanking device)

- программное обеспечение для трехмерной реконструкции

 

 

Пришлите нам запрос на систему по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.