Сканирующий (растровый) электронный микроскоп JEOL JSM-7100F

JEOL JSM-7100F - сканирующий (растровый) электронный микроскоп (РЭМ) с катодом Шоттки производства компании JEOL (Япония)

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

JSM-7100F – сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки. Этот микроскоп является оптимальным решением для работы с наноразмерными образцами, он совмещает в себе высокую разрешающую способность необходимую для получения высокого разрешения при больших увеличениях при визуальном исследования образцов и высокие токовые характеристики электронного пучка (ток пучка до 200 нА).

 

JSM-7100F – сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки. Этот микроскоп является оптимальным решением для работы с наноразмерными образцами, он совмещает в себе высокую разрешающую способность необходимую для получения высокого разрешения при больших увеличениях при визуальном исследования образцов и высокие токовые характеристики электронного пучка (ток пучка до 200 нА). Благодаря уникальной конструкции электронно-оптической колонны достигается высокая стабильность пучка во времени, что очень важно при использовании методов энергодисперсионного анализа, волнодисперсионного анализа, дифракции обратно рассеянных электронов, катодолюминисценции.

 

В электронно-оптической колонне микроскопа JEOL JSM 7100F реализована In-lens схема расположения катода, что позволяет с высокой эффективностью отбирать электроны эмитируемые с катода и поддерживать высокий ток пучка, и линзы с оптимальным углом апертуры для формирования тонкого зонда, даже при высоких токах

 

Микроскоп в базовой конфигурации оснащается высокоэффективным детектором вторичных электронов и детектором обратно отраженных электронов и системой Gentle Beam (GB) которая позволяет улучшить разрешение при низких ускоряющих напряжениях. В конфигурации JSM7500TTL помимо вышеперечисленных детекторов устанавливаются 2 Through the Lens (TTL) детектора. Они располагаются непосредственно внутри колонны и их использование позволяет улучшить разрешение.

 

Микроскоп JEOL JSM7100F позволяет исследовать непроводящие образцы методом ЭДС и ДОРЭ при высоких ускоряющих напряжениях в режиме низкого вакуума. Давление в камере может регулироваться в пределах от 10 до 300 Па.

 

Благодаря используемой в данном микроскопе электронно-оптической колонне, которая позволяет работать с пучком малого диаметра и большим током, возможно построение карт распределения элементов при малых ускоряющих напряжениях, что обеспечивает получение результат с очень большой локальностью.

 

Основные технические характеристики:

 

Электронная оптика  

Катод

JEOL Шоттки с полевой эмиссией

Ускоряющее напряжение

0.2 кВ до 30 кВ
 

Пространственное разрешение

3.0 нм при 1 кВ, 1.2 нм при 30 кВ

Диапазон увеличений

10x до 1,000,000x
 

Максимальный размер образца диаметр до 200 мм
Столик  

Перемещение столика (тип I)

X: 70 мм
Y: 50 мм
Z: 3 мм bis 41 мм
T: -5° до 70°
R: 360° (бесконечный)
 

Перемещение столика (тип II)

X: 110 мм
Y: 80
мм
Z: 3
мм до 41 мм
T: -5° до 70°
R: 360°
(бесконечный)
 

Перемещение столика (тип III)

X: 140 мм
Y: 80
мм
Z: 3
мм до 41 мм
T: -5° до 60°
R: 360°
(бесконечный)

 

Пришлите нам запрос на интересующий Вас сканирующий электронный микроскоп по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.