Автоэмиссионный сканирующий (растровый) электронный микроскоп JEOL JSM-7500F

JEOL JSM-7500F - автоэмиссионный сканирующий (растровый) электронный микроскоп (РЭМ) сверхвысокого разрешение производства компании JEOL (Япония)

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

JSM-7500F – автоэмиссионный сканирующий электронный микроскоп ультравысокого разрешения. Данный прибор уникален тем, что даже при низком ускоряющем напряжении он обеспечивает сверхвысокое разрешение (1,4нм при 1кВ). Это делает JSM-7500F прекрасным инструментом для анализа текстуры наноструктурных объектов, особенно тех, которые чувствительны к воздействию электронных пучков.

 

Низкая чувствительность к вибрациям пола и акустическим шумам существенно снижают требования по подготовке помещения для установки JSM-7500F. Полностью обновленный интерфейс позволит даже начинающим операторам автоэмиссионных растровых микроскопов чувствовать себя уверенно рядом с данным прибором и получать хорошие результаты.

 

Особенности прибора:

Режим регистрации электронов, отраженных под малыми углами (LABE, запатентован JEOL):

  1. снимает эффект зарядки образца;

  2. позволяет регистрировать отраженные электроны малых энергий;

  3. дает более полную информацию о мелких деталях поверхности и композиционном контрасте.

Одновременное наблюдение 4 разных сигналов с 16-битным динамическим диапазоном.

r-фильтр позволяет проводить фильтрацию по энергиям вторичных и отраженных электронов.

Система “Gentle Beam”  позволяет уменьшить заряд на непроводящих образцах и изучать их с высоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях.

Автоматическая замена образцов (опция).

Выдвижной детектор отраженных электронов.

5-тиосевой моторизованный столик образцов с автоматической защитой.

 

Основные технические характеристики:

Пространственное разрешение

1,0 нм при 15 кВ;  1,4 нм при 1 кВ;0,6 нм при 30 кВ (достижимо)

Электронная пушка с холодным катодом на полевой эмиссии
Ускоряющее напряжение от 0,1кВ до 30 кВ
Диапазон токов пучка от 10-12 до 2*10-9 A
Диапазон увеличений от х25 до х1 000 000 (в пересчете на фотопластину 9 см*12 см)
Столик образцов

Большой, эвцентрического типаДиапазон перемещений:

 

Тип 1: Х:70мм, Y:50мм, Z: 37,5мм. Наклон  от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов.

Тип 2: Х:110мм, Y:80мм, Z: 23,5мм. Наклон  от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов.

Тип 3: Х:140мм, Y:80мм, Z: 23,5мм. Наклон  от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов.

Максимальный размер образца диаметром до 200 мм, высотой до 10 мм
Операционная система MS Windows XP

 

Пришлите нам запрос на интересующий Вас сканирующий электронный микроскоп по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.