Сканирующий (растровый) электронный микроскоп JEOL JSM-7600F

JEOL JSM-7600F - новейший аналитический сканирующий (растровый) электронный микроскоп (РЭМ) с полевой эмиссией производства компании JEOL (Япония)

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

 

JSM-7600F – новейшая модель в линейке сканирующих электронных микроскоп JEOL, в которой реализованы все последние достижения в  технологии электронной оптики JEOL. Термополевой катод (Шоттки), объективная линза с низкими аберрациями и высокая стабильность обеспечивают высокое разрешение и тонкий зонд даже при высоких токах пучка (свыше 200нА при 15кВ). Это идеальное решение для исследования и анализа наноструктур.

 

Многозадачный, высокоэффективный СЭМ с низким энергопотреблением (1,2 кВА) снабжен уникальной комбинацией пушки «In-lens» , позволяющей эффективно собирать все электроны и поддерживать высокий ток пучка, подогревного автоэмиссионного катода и линзы с оптимальным углом апертуры для формирования тонкого зонда, даже при высоких токах. Встроенный r-фильтр позволяет смешивать сигналы детекторов вторичных и отраженных электронов, делая анализ изображений еще более эффективным. Маленький размер зонда гарантируется даже при низких ускоряющих напряжениях и высоких токах. На колонну микроскопа могут быть установлены все типы аналитических приставок, например, EDS, WDS, EBSD, CL. Маленький диаметр зонда и оптимальные условия позволяют элементный анализ образцов  с размерами анализируемой области в несколько десятков нанометров.

 

Система “Gentle Beam”  позволяет уменьшить заряд на непроводящих образцах и изучать их с высоким разрешением при низких ускоряющих напряжениях.

Нижний детектор отраженных электронов (опция)

Полностью автоматизированная электронная пушка.

Неограниченное число специальных настроек микроскопа, которые можно сохранять и использовать.

Удобное управление столиком с помощью трекбола, кнопок или мыши, на выбор.

Получение до четырех типов изображений одновременно, в реальном времени.

 

Основные технические характеристики:

Пространственное разрешение

1,0 нм при 15 кВ,1,5 нм при 1 кВ в режиме GB2,5нм при 1кВ в РЭМ режиме3нм при 15 кВ, на рабочем отрезке 8мм и токе зонда 5нА (режим анализа).

Электронная пушка термополевая, типа Шоттки
Ускоряющее напряжение от 0,1кВ до 30 кВ
Диапазон токов пучка от 10-12 до 2*10-7 A
Диапазон увеличений от х25 до х1000 000
Столик образцов

большой, эвцентрического типа, диапазон перемещений:Х:70мм, Y:50мм, Z: от 1,5 до 25 мм. Наклон  от -5 до +70 градусов. Вращение 360 градусов.

Операционная система MS Windows XP

 

Пришлите нам запрос на интересующий Вас сканирующий электронный микроскоп по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.