Приборы и системы для анализа поверхности фирмы JEOL

Анализ и исследование поверхности производства компании JEOL (Япония)

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

Исследование поверхности материалов является актуальной задачей в различных областях науки и промышленности. Целью таких исследований обычно является по возможности наиболее полное изучение структуры и состава тонкого (до 1 мкм)  приповерхностного слоя образца. Состав и структура приповерхностного слоя говорят не только о свойствах самого образца, но и об особенности среды, вызвавшей те или иные изменения поверхности.

 

Приборы для анализа поверхности обычно оснащаются специальными устройствами, которые позволяют осуществлять модификацию поверхности, в том числе травление, чистку, напыление и т.п. Благодаря функции травления появляется возможность изучать образца послойно, строя профиль распределения тех или иных свойств по глубине.

 

Фирма JEOL выпускает целую линейку (более 20 типов) приборов для исследования поверхности различными методами. Среди этих приборов, конечно же, наибольшую популярность в линейки продукции JEOL получили приборы на основе электронной оптики:

 

- сканирующие (растровые) электронные микроскопы с приставками для микроанализа (см.сканирующие (растровые) электронные микроскопы JEOL)

- просвечивающие электронные микроскопы (в режиме исследования поверхности) (см. просвечивающие электронные микроскопы JEOL)

- двухлучевые системы на базе растровых электронных микроскопов (см. системы с сфокусированным ионным пучком JEOL)

- электронно-зондовые микроанализаторы (EPMA)

- Оже-микроанализаторы (см. JAMP-9500F)

- фотоэлектронные спектрометры (см. фотоэлектронные спектрометры XPS, ЭСХА производства JEOL)

 

Широкую линейку приборов дополняют несколько моделей сканирующих зондовых микроскопов, включая как сверхвысоковакуумные модели, так и модели для работы в различных средах или на воздухе.

 

 

Пришлите нам запрос на интересующий Вас анализатор по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.