Просвечивающие электронные микроскопы JEOL

Просвечивающие электронные микроскопы (ПЭМ) производства компании JEOL (Япония)

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

Фирма JEOL производит просвечивающие электронные микроскопы (ПЭМ) с 1949г. Сегодня она выпускает различные модели ПЭМ, с диапазоном ускоряющих напряжений от 100кэВ до 1000кэВ.

В биологических и медико-биологических исследованиях широко применяются микроскопы с ускоряющим напряжением до 120кэВ. Они позволяют исследовать тончайшие клеточные структуры и помимо чисто исследовательских целей используются также в качестве инструментов диагностики патологий в клинических центрах.

Для исследований в области материаловедения, металлургии, кристаллографии, физики полупроводников созданы современные высоковольтные (200-1000кэВ) ПЭМ высокого разрешения, позволяющие в обычном режиме получать изображения атомов. С дополнительными аналитическими приставками (рентгеновские энергодисперсионные спектрометры, спектрометры потерь энергии электронов) они позволяют определять элементный состав областей менее 0,5нм в диаметре.

 

Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ) предполагает изучение тонких образов с помощью пучка электронов, проходящих сквозь них и взаимодействующих с ними. Электроны, прошедшие сквозь образец, фокусируются на устройстве формирования изображения: флюоресцентном экране, фотопластинке или сенсоре ПЗС-камеры.

 

Благодаря меньшей чем у света длине волны электронов ПЭМ позволяет изучать образцы с разрешением в десятки тысяч раз превосходящим разрешение самого совершенного светооптического микроскопа. С помощью ПЭМ возможно изучение объектов даже на атомарном уровне. ПЭМ является одним из основных методов исследования в целом ряде прикладных областей: физике, биологии, материаловедении и т.д.

 

На относительно малых увеличениях контраст на ПЭМ возникает из-за поглощения электронов материалом исследуемого образца. На высоких увеличениях сложное взаимодействие волн формирует изображение, требующее более сложной интерпретации.

 

Современные ПЭМ имеют режимы работы, позволяющие изучать элементный состав образцов, ориентацию кристаллов, фазовый сдвиг электронов и т.п.

 

ПЭМ всегда состоит из следующих основных частей: вакуумная система, источник электронов, серия электромагнитных линз, устройства формирования изображения, а также устройства для ввода, вывода и перемещения образца под электронным пучком.

 

Электромагнитные линзы и пластины позволяют оператору манипулировать электронным пучком так, как требуется для того или иного режима работы, на устройстве формирования изображения получаются результирующие выходные данные.

 

Образцы, изучаемые в ПЭМ помещаются на сеточки диаметром 3 мм (внутренний диаметр около 2.5 мм). Сеточка крепится на столике и держателе, которые позволяют перемещать ее по нескольким осям. Таким образом, ПЭМ позволяет изучать только специально подготовленные к помещению в вакуум тонкие образцы небольшого размера. Специалисты говорят, что 50% успеха исследования в ПЭМ определяется качеством подготовки образца.

 

Современные ПЭМ позволяют работать в следующих основных режимах:

 

Светлое поле (контраст формируется за счет поглощения электронов образцом)

Темное поле (контраст в зависимости от атомного номера)

Дифракционный контраст (контраст вызванный рассеянием Брэгга, возникающим при попадании пучка в кристаллическую структуру)

Спектроскопия энергетических потерь электронов (измерение потери электроном начальной энергии после прохождения через образец), а также энергетическая фильтрация

Элементное картирование с помощью рентгеновского энергодисперсионного спектрометра

Изображение во вторичных электронах

Изображение в обратно-рассеянных электронах

Электронно-лучевая томография (объемное изображение образца)

Фирма ЭНЕРГОАВАНГАРД занимается поставками просвечивающих электронных микроскопов мирового лидера в этой области — компании JEOL. Фирме JEOL принадлежит более 50% всего мирового рынка просвечивающих электронных микроскопов. Она представляет самую широкую линейку данного оборудования среди всех существующих производителей.

 

Просвечивающие электронные микроcкопы JEOL (Япония):

 

 

 

Просвечивающие электронные микроскопы JEOL:

 

 

Пришлите нам запрос на интересующий Вас просвечивающий электронный микроскоп по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.