Установки и системы фотолитографии производства MIDAS SYSTEM Co., Ltd.

MDA-80SA / MDA-12SA - полуавтоматические установки совмещения и экспонирования MIDAS SYSTEM Co., Ltd (Корея)

 

MIDAS SYSTEM Co., Ltd. - компания один из мировых лидеров в производстве систем фотолитографии для процессов производства полупроводников и FPD (Flat Panel Display) дисплеев. Компания предлагает установки и системы совмещения и экспонирования, а также центрифуги для нанесения фоторезиста для технологий flip chip, полупроводниковые приборы, MEMS, оптоэлектроника, СВЧ приборы, дифракционная оптика, LED чипы и др.

 

 

MDA-80SA / MDA-12SA - полуавтоматические установки совмещения и экспонирования

 

Установки MDA-80SA / MDA-12SA прекрасный инструмент для использования в таких применениях как MEMS, оптоэлектроника, FPD панели, ВЧ устройства, flip chip устройства, LED и других технологиях требующих высокой точности совмещения. Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость. По запросу опция обратного совмещения с CCD камерой.   Обработка пластин до 200 мм / 300мм.

Моторизованный столик при совмещении и фокусировке, автоматическое экспонирование.

 

Особенности:

 

Прецизионная точность совмещения 1 мкм

Многофункциональный держатель пластин и подложек до 8’’ / 12". Специальные держатели подложек (кусочков по запросу)

Прецизионный столик для совмещения и микроскоп

Возможность задания различной интенсивности УФ излучения для экспонирования

Операции с помощью компьютера.

Более 100 рецептов

Система для компенсации «клина засветки» на воздушных подшипниках

Антивибрационный стол

Эргономичный дизайн для удобного использования

 

Характеристики:

 

Параметр MDA-80SA MDA-12SA

Мощность лампы

УФ источник света с мощностью 2 кВт с контролем интенсивности и мощности излучения.

УФ источник света с мощностью 2-5 кВт с контролем интенсивности и мощности излучения.

Размер подложки

кусочки, пластины до 8 дюймов, размер подложек до 8х8 дюйма

кусочки,пластины до 14 дюймов, размер подложек до 14х14 дюйма

Точность совмещения 1 микрон 1 микрон
Разрешение

1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом  (возможно 0,8 мкм)

1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом  (возможно 0,8 мкм)

Размер маски

9 х 9 дюймов

15 х 15 дюймов

УФ лампа

2 кВт.

2-5 кВт.

Оптическое зрение

Микроскоп двойного поля         (130x - 850x увеличение, 1600х - опция), CCD камера

Микроскоп двойного поля      (480x - 1000x, увеличение 1600х - опция), CCD камера
Моторизованный микроскоп Моторизованный микроскоп по осям X,Y,Z (управление с джойстика) Моторизованный микроскоп по осям X,Y,Z (управление с джойстика)
Моторизованный столик Столик с моторизацией по осям X,Y,Z Theta Столик с моторизацией по осям X,Y,Z Theta

Размер однородного пучка излучения

9,25 х 9,25 дюймов

13,25 х 13,25 дюймов

Однородность пучка

< 3-5%

< 3-5%

Интенсивность излучения при длине волны 365 нм

Максимальная 15-20 мВт/см2

При мощности лампы 2 кВт: 15-30 мВт/см2

При мощности лампы 5 кВт: 25-60 мВт/см2

Интенсивность излучения при длине волны 400 нм

Максимальная 20-25 мВт/см2

При мощности лампы 2 кВт: 30-50 мВт/см2

При мощности лампы 5 кВт: 50-100 мВт/см2

Режим управления

С помощью ПК

С помощью ПК

Регулируемое время экспонирования

 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс

 0,1 to 999,9 сек с шагом 100 мс

Совмещение подложек

Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 5 мм) и по углу θ (± 5°)

Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по z ± 5 мм) и по углу θ (± 5°)

Выравнивание

Компенсация ошибки клина

автоматическое определение края - датчик давления)

Компенсация ошибки клина

автоматическое определение края - датчик давления)

Методы экспонирования

Мягкий контакт,жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм с помощью системы на базе ПО)

Мягкий контакт,жесткий контакт, вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором (регулируемое 1 мкм с помощью системы на базе ПО)
Дисплей Монитор с точскрином Монитор с точскрином

Стол

Антивибрационный стол

Антивибрационный стол

Опции

ИК опция обратного совмещения          (IR BSA), обратное совмещение с помошью CCD камеры, Датчик интенсивности УФ излучения и дальнего УФ  излучения (DUV)

ИК опция обратного совмещения          (IR BSA), обратное совмещение с помошью CCD камеры, Датчик интенсивности УФ излучения и дальнего УФ  излучения (DUV)

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.