Установки и системы фотолитографии производства MIDAS SYSTEM Co., Ltd.

Центрифуги для нанесения фоторезиста производства MIDAS SYSTEM Co., Ltd (Корея)

 

MIDAS SYSTEM Co., Ltd. - компания один из мировых лидеров в производстве систем фотолитографии для процессов производства полупроводников и FPD (Flat Panel Display) дисплеев. Компания предлагает установки и системы совмещения и экспонирования, а также центрифуги для нанесения фоторезиста для технологий flip chip, полупроводниковые приборы, MEMS, оптоэлектроника, СВЧ приборы, дифракционная оптика, LED чипы и др.

 

Лабораторные центрифуги для нанесения фоторезиста:

Настольные центрифуги фирмы MIDAS System специально разработаны для лабораторий. Спроектированы для нанесения различных жидких материалов на планарные (плоские) подложки. Толщины наносимых слоев от 1000 А до 100 мкм в зависимости вязкости материала, скорости вращения и времени нанесения.

 

SPIN-1200T / SPIN-3000D- настольная лабораторная центрифуга для нанесения фоторезиста с ручным управлением и цветным touch screen дисплеем для управления (пластины до 4 или до 6 дюймов)

Видеопрезентация...

 

SPIN-3000A - настольная лабораторная центрифуга для нанесения фоторезиста с ручным управлением (пластины до 8 дюймов).

 

SPIN-3000T - настольная лабораторная центрифуга для нанесения фоторезиста с автоматическим дозирующим устройством (пластины до 8 дюймов). Включает одно сопло для дозирования фоторезиста, насос для подачи фоторезста и канистру для фоторезстиа, вакуумный насос для прижима. (пластины до 8 дюймов).

 

SPIN-3000TD - настольная лабораторная центрифуга для проявления фоторезиста с 3-мя автоматическими дозирующим устройством (пластины до 8 дюймов). Включает одно сопло для дозирования проявителя, сопло для подачи деионизованной (D.I.) воды и сопло подачи азота (N2), насос для подачи реагентов и канистру для проявителя, вакуумный насос для прижима. (пластины до 8 дюймов).

 

 

Особенности:

Нанесение различны материалов таких как: фоторезист, полиимиды, металло-органика, легирующие примеси, большинство органических веществ и жидкостей.

 

Характеристики:

 

Центрифуги

Модель

SPIN-1200T /SPIN-3000D

SPIN-3000A

SPIN-3000T/SPIN-3000TD

Размер подложки

до 4 дюймов

/ до 6 дюймов

до 8 дюймов

до 8 дюймов

Скорость вращения

300 - 10000

/ 300 - 8000

 об/мин ± 1%

100 - 8000 об/мин ± 0,1% 300 - 8000 об/мин ± 1%
Управление Цветной touch screen дисплей

20 рецептов х 50 шагов (цифровое программирование)

10 рецептов х 50 шагов (цифровое программирование) 20 рецептов х 20 шагов (цифровое программирование)
Размер барабана

8 дюймов

/ 10 дюймов

(Ацеталь)

12 дюймов дюймов

(нержавеющая сталь)

12 дюймов дюймов

(нержавеющая сталь)

Мотор / Корпус

DC сервомотор / Нержавеющая сталь AC сервомотор / Нержавеющая сталь DC сервомотор / Нержавеющая сталь

Вакуумный прижим

Анодированный алюминий Анодированный алюминий Анодированный алюминий

Электропитание

220 В, 5 А

220 В, 5 А

220 В, 5 А

Ускорение и скорость вращения

Различная (задается) Различная (задается) Различная (задается)

Размеры

230 х 340 х 260 мм 390 х 570 х 400 мм 390 x 630x 445 мм

 

 

SEMI AUTO SPIN-5000А (Spin coater/Developer/Spinner)  - полуавтоматическая напольная установка для нанесения фоторезиста / проявление (пластины до 500 х 500 мм).

 

Характеристики:

Размер подложки - до 15дюймов (500 х 500 мм)

Скорость вращения: до 4000 об/мин (задается) - в зависимости от конфигурации, размеров и веса образцов

Управление: 20 рецептов х 20 шагов (цифровое программирование)

Мотор / Корпус: AC сервомотор / Нержавеющая сталь

Вакуумный прижим: Анодированный алюминий (точная полировка)

Электропитание: 220 В, 20 А

 

 

Опции: Система автоматической подачи фоторезиста и химикатов (проявителей)

-Роботизированная рука с тремя соплами

-Подвижный модуль нанесения

-Химический кабинет

-Насос для подачи реагентов

 

Брошюра по установкам нанесения фоторезиста (874 кВ)...

 

Видео презентация SPIN-1200T:

Пришлите нам запрос на интересующую Вас установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.