Новости

Новости компании "ЭНЕРГОАВАНГАРД"

 

В ОАО ОКБ-Планета запущена установка травления в индуктивно-связанной плазме для травления A3B5 модели SI 500 производства SENTECH Instruments GmbH. Установка является третьей машиной установок SENTECH Instruments GmbH для травления и осаждения диэлектриков. Установка оснащена линиями для хлорной химии, лазерным интерферометром, сухой откачкой и т.д.

 

В ОАО НИИПП, Томск запущена установка магнетронного распыления EvoVac фирмы Angstrom Engineering Inc. (Канада). Установка оснащена 4-мя магнетронами диаметром 4 дюйма, источником ионной очистки и ассистирования и держателем пластин с нагревом.

 

В компании Радар-ММС в Санкт-Петербурге запущен рефлектометр FTPadv-2 производства SENTECH Instruments GmbH для измерения толщины тонких пленок и коэф. преломлению. Прибор позволяет измерять толщину пленок от 50 нм до 25000 нм. и показатель преломления.

 

В ОАО ЦКБА, Омск поставлена вторая по счету центрифуга для нанесения фоторезиста SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd (Корея) для обработки подложек 60х48мм.

 

В ОАО НПП «Радий» поставлена и запущена центрифуга для нанесения фоторезиста модели SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd  (Корея) с комплектом держателей для пластин 76-100мм, подложек 60х48 мм, и  двумя держателями для кусочков разной формы. На фотографии можно оценить в сравнении удобство и компактность центрифуги SPIN-1200T.

 

В Московском педагогическом университете (МПГУ) установлен микроскоп Nikon Eclipse LV100 производства Nikon (Япония) для работы в отраженном и проходящем свете. Микроскоп подходит для наблюдений по методу светлого поля, темного поля, простой поляризации и оснащен объективами 5×, 10×, 20×, 50×, 100×, предметным столиком с перемещением 3×2 дюйма, цифровой камерой 5 Мп, контроллером и программным обеспечением NIS Elements D для документирования и измерений.

 

В МФТИ запущена установка плазменной очистки Femto производства Diener electronic GmbH (Германия). Установка сконфигурирована для очистки поверхности от органических загрязнений и активации поверхности.

 

В еще оном центре ФГУП ЦНИИХМ, Москва внедрен оптический 3D профилометр-конфокальный микроскоп S neox производства SENSOFAR-TECH (Испания). Второй прибор имеет моторизованный стол с ходом по XY = 312 х 312 мм для нанопрофилирования больших по площади деталей.

 

В Экспоцентре на красной Пресне прошла очередная ежегодная выставка оборудования и материалов полупроводниковой отрасли, микроэлектроники и нанотехнологий SEMICON Moscow 2015. Наша компания традиционно представила своих производителей высококлассного оборудования для производства изделий микроэлектроники и аналитическое оборудование: SENTECH Instruments GmbH, Angstrom Engineering Inc, HIMT GmbH, Diener electronics GmbH, ANNEALSYS, MIDAS System, MicroXact Inc, SENSOFAR, Nikon, FSMG и др. На выcтавке были также представлены центрифуга для нанесения фоторезиста (которая после выставки отправиться в ОАО НПП Радий) и установка плазменной очистки Pico производства Diener.

 

В ОАО НИИФИ, Пенза внедрена установка глубокого травления кремния в индуктивно-связанной плазме модели SI 500 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия). Установка оснащена сухим фор насосом, лазерным интерферометром для определения точки окончания процесса производства SENTECH.

 

В ООО НПП Томилинский электронный завод запущена установка плазменной очистки Pico производства Diener electronic GmbH (Германия). Установка сконфигурирована снятия и подчистки фоторезста и активации поверхности кремниевых пластин.

 

В ОАО НИИПП, Томск, поставлены и запущены центрифуга для нанесения фоторезста SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd  (Корея),установка плазменной очистки и активации поверхности ATTO I производства Diener electronic GmbH (Германия)и оптический 3D профилометр-конфокальный микроскоп S neox производства SENSOFAR-TECH (Испания).

 

В ОАО Геофизика-Космос в Москве внедрены установка плазменной очистки и активации поверхности NANO производства Diener electronic GmbH (Германия) и полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования модели MDA-150 (ныне MDA-600S) производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd (Корея).

Установка NANO имеет антикоррозионное исполнение для работы как с неагрессивными газами так и с SF6 или CF4 и генератор 13,56 Мгц. Такая конфигурация системы подходит для большого количества процессов от активации и очистки поверхности от органических загрязнений до снятия фоторезиста и окислов.

 

 

На предприятие ОАО "ВЗПП-Сборка", выпускающем разнообразную микроэлектронную и полупроводниковую продукцию поставлена и внедрена высокоточная зондовая станция модели SPS-2200 производства компании MicroXact Inc. (США).
Установка оснащена стандартным столиком для пластин Ø 200 мм, а также четырьмя микропозиционерами с магнитной базой для DC зондов с 20TPI разрешением и двумя микропозиционерами с магнитной базой для DC зондов с 80TPI разрешением.

 

 

В НИЦ Нанотехнологий ФГУП ЦНИИХМ, Москва внедрен оптический 3D профилометр-конфокальный микроскоп S neox производства SENSOFAR-TECH (Испания)

 

В ФГБОУ ВПО "Юго-западный Государственный университет" в г.Курс запущена установка плазменной очистки Pico производства Diener electronic GmbH (Германия).

Наша компания приняла участие в 13-я Международной выставке технологий, оборудования и материалов для производства  изделий электронной и электротехнической промышленности «ЭлектронТехЭкспо» ,  которая проходила с 24 по 26 марта 2015 года в Москве, в МВЦ «Крокус Экспо». Выставку «ЭлектронТехЭкспо» посетили 7 296 специалистов, площадь экспозиции составила 6 604 кв.м

Компания традиционно представила своих производителей: SENTECH Instruments, Angstrom Engineering Inc, Diener electronics, ANNEALSYS, Heidelberg Instruments, MIDAS SYSTEM, MicroXact, SENSOFAR и др. и представила установку нанесения фоторезста SPIN-1200T и установку плазменной очистки и активации поверхности Pico.

 

В ОАО НИИФИ в Пензе внедрена вторая установка HIMT. Предприятие приобрело настольную установку высокоскростной безмасковой литографии mPG 501 производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH  (Германия). Установка приобретена для изготовления фотошаблонов наряду с уже имеющимся генератором DWL 66FS.

 

В ОАО СКТБ РТ внедрена вот уже вторая установка совмещения и экспонирования модели MDA-400M производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd (Корея). Установка также предназначена для работы с микросборками (60х48 мм).

 

В ОАО НИИФИ в Пензе внедрена уже третья по счету установка плазменной очистки, травления и активации поверхности п/п пластин Pico производства Diener electronic GmbH (Германия). Установка имеет СВЧ генератор с частотой 2,45 ГГц и мощность до 300 Вт, который может использоваться как для задач очистки и активации поверхности, так и для задач доочистки и снятия фоторезста. Также с установкой поствлен лабораторный генератор кислорода, который позволит установке не зависеть от заводского кислорода.

 

В Зеленограде в ЗАО ПКК «Миландр» - одном из ведущих предприятий радиоэлектронного комплекса России, занимающимся проектированием и производством интегральных микросхем поставлена и внедрена система плазменного обработки TETRA 150 производства Diener electronic GmbH (Германия), установка оснащена 80 кГц генератором, 150 литровой вакуумной камерой с десятью полками для кассетной загрузки корпусов и полностью автоматизированной системой управления на базе Windows. Установка дополнит существующую современную технологическую линию по сборке микросхем.

 

В ОАО НПО Стрела в Туле установлена и внедрена установка лазерной безмасковой литографии DWL 66FS производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия).

 

В Государственном оптическом институте им Вавилова в Санкт-Петербурге внедрена полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования модели MDA-60MS (8") производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd (Корея). Установка была специально модифицирована для задач оптического института и позволяет работать как с полупроводниковыми пластина так и со стеклянными пластинами диаметром до 200 мм и толщиной до 20 мм, а также весом до 2 кг !

 

В ОАО "ГосНИИП" поставлена полуавтоматическая установка монтажа/демонтажа поверхностно монтируемых SMD компонентов ONYX 29 производства компании ZEVAC (Швейцария).

Установка обладает удобной для пользователя компоновкой, возможностью 4-х зонного предварительного нагрева, моторизацией по осям XYZ, видеосистемой, автодозатором, системой очистки рабочего поля и позволяет осуществлять нанесение адгезива, пасты, флюсование, пайку и точечный монтаж компонентов (от 0201 до BGA) размером от 0,2 до 75 мм а также проводить наладку и ремонт необходимого изделия (платы).

 

В ОАО "ОКБ-Планета" в Великом Новгороде поставлена и внедрена установка электронного-лучевого испарения EvoVac производства Angstrom Engineering Inc. (Канада). Установка имеет высоковакуумную камеры из нержавеющей стали и оснащена 6-ти тигельным (25 см3) источником электронно-лучевого испарения, ионным источником для очистки поверхности и нагревателем положек.

 

В ОАО "НИИФИ" в Пензе внедрены 4 установки вакуумного напыления Amod производства Angstrom Engineering Inc. (Канада). Поставка четырех установок является продолжением (вторым этапом) перевооружения участка вакуумного напыления на предприятии. Ранее в НИИФИ была внедрена первая на предприятии установка Amod (магнетронное распыление). Поставленные установки серии Amod канадской фирмы предназначены для процессов: магнетронного распыления металлов (1-ая), магнетронное распыление SiC и SiO2 (2-ая), электронно-лучевое испарение (3-я) и резистивного испарение благородных металлов (4-ая). Все установки оснащены ионными источниками для предварительной очистки пластин и образцов и ионного ассистирования, а также нагревателями подложек.

 

 

В московском институте РАН нашими специалистами запущена УНИКАЛЬНАЯ широковолновая эллипсометрическая система производства SENTECH Instruments GmbH (Германия). Поставленная система не имеет аналогов в РФ, имея спектральный диапазон от 190 до 25000 нм., что позволяет использовать ее для широчайшего круга задач измерения тонких пленок. Система состоит из двух спектроскопических эллипсометров: DUV/VIS/NIR спектроскопического эллипсометра модели SE 850DUV (190-2500 нм) и ИК-фурье спектроскопического эллипсометра SENDIRA (1666-25000 нм) производства SENTECH Instruments GmbH (Германия).

 

В Петрозаводский Государственный Университет поставлена центрифуга для нанесения фоторезиста модели SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd. (Корея).

 

В институте автоматики и электрометрии СО РАН в Новосибирске внедрена головка 3D профилометра-конфокального микроскопа S Neox производства SENSOFAR-TECH (Испания).  

 

В НИИ Приборостроения им.В.В.Тихомирова в Жуковском внедрена и запущена установка совмещения и экспонирования с ручным управлением модели MDA-400M производства MIDAS SYSTEM (Корея). Установка будет применяться в производстве и разработке изделий гибридной микроэлектроники и работать на пластинах 60х48 мм.

 

В ОАО НПЦ ПОЛЮС, Томск установлена настольная установка лазерной безмасковой литографии microPG 101 производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия). Установка имеет линзу для экспонирования PR с минимальным топологическим размером 2,5 микрон и опцию режима векторного экспорнирования.

 

Наша компания приняла участие в ежегодной выставке Aerospace Testing & Industrial Control 2014 и представила аналитическое испытательное и технологическое оборудование фирм SENSOFAR-TECH, Diener electronic, Heidelberg Instruments, Hegewald&Peschke, Wickert и др. Компания представила на выставке несколько демонстрационных образцов, а именно: 3D оптический профилометр-конфокаьный микроскоп S neox, установку плазменной очистки и активации поверхности модели Pico PCCE и универсальную испытательную машину Inspekt 50kN и др.

 

В ЗАО НПФ "ЭЛТАН" внедрена и запущена полуавтоматическая установка совмещения и экспонирования модели MDA-60MS (8") производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd. (Корея). Установка предназначена для совмещения и экспонирования на пластине диаметром до 200 мм с шаблоном до 9"х9".

На одном из заводов в Санкт-Петербурге внедрена установка плазменной очистки, травления и активации поверхности п/п пластин Pico производства Diener electronic GmbH (Германия).

 

В ОАО НПП "Восток" в Новосибирске запущена высоковакуумная печь быстрого термического отжига Si пластин модели AS-MASTER  S20HT производства ANNEALSYS (Франция). Установка предназначена для процессов быстрого термического отжига (RTA) Si пластин диаматром до 200 мм (8 дюймов) в высоком вакууме при температуре до 1500 оС. Установка имеет вакуумную откачку: форвакуумный+турбомолекулярный насос.

 

В один из московких НИИ поставлена видеоизмерительная система NEXIV VMR 3020 производства компании NIKON (Япония). Система будет использоваться на участке сборки MEMS устройств. Система позволяет получать 3D изображения и проводить измерения по 3-осям с точностью до 0,1мкм.  Имеет предметный столик с полностью моторизованным перемещением 300х200х150 мм (с помощью джойстика), оптическую голову с трансфокацией от 1х до 15 х , лазерной автофокусировкой, возможностью боковой подсветки образца и рабочим расстоянием 50 мм.

 

В МФТИ произведен апгрейд программного обеспечения на эллипсометре SE 800E фирмы SENTECH Instruments GmbH (Германия). На прибор установлена обновленная версия программного обеспечения SpectraRay/3 фирмы SENTECH Instruments GmbH. Апгрейд и поставка программного продукта произошел в самые кратчайшие сроки.

 

В Кубанский Государственный Университет поставлены 2 центрифуги для нанесения фоторезиста модели SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd. (Корея). Поставка двух центрифуг стало уже второй поставкой центрифуг фирмы MIDAS SYSTEM для университета. Двумя годами ранее в университет была поставлена центрифуга SPIN-1200D.

 

В ФГУП ПО СТАРТ, ЗАТО Заречный Пензенской области установлена и внедрена первая в России установка лазерной безмасковой литографии новой модели DWL 66+ производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия).

 

В Электровыпрямителе в Саранске запущена печь графитизации фоторезиста и вакуумного отжига PEO-601 производства ATV Technologie GmbH (Германия).

 

В ЗАО НПЦ АЛМАЗ-ФАЗОТРОН, Саратов установлена и внедрена установка лазерной безмасковой литографии DWL 66FS производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия). Установка предназначена для производства и разработки фотошаблонов.

 

Наша компания установила в своем демо зале сканирующий 3D профилометр-конфокальный микроскоп серии Neox производства SENSOFAR-TECH (Испания). Приглашаем всех заинтересованных заказчиков посетить демо зал для ознакомления с прибором и провести тесты на образцах.

 

В ОАО ОКБ-Планета в Великом Новгороде внедрены две установки плазменной очистки, травления и активации поверхности п/п пластин Pico производства Diener electronic GmbH (Германия).

Одна установка имеет генератор плазмы 13,56 МГц для очистки и активации поверхности, вторая установка имеет генератор плазмы 2,45 ГГц для подчистки и снятие слоев фоторезста.

 

В одном из Московских НИИ поставлены 2 центрифуги для нанесения фоторезиста на подложки 60х48мм модели SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd. (Корея)

 

В ОАО "ОКБ-Планета" в Великом Новгороде установлены две (полуавтоматическая и ручная) зондовые станции SPS-2800-TC и SPS-2000 производства MicroXact (США).

Станция SPS-2800-TC оснащена термо-крио столиком для работы в диапазоне температур от -60 до +200 оС и 4-мя RF зондами разной конфигурации для работы на частоте до 40 ГГц. Станция SPS-2000 оснащена 6-тью DC зондами.

 

Наша компания поставила очередной микроскоп Nikon Eclipse LV150N производства Nikon (Япония) для инспекции пп пластин.

 

В ИФТП в Дубне внедрена установка совмещения и экспонирования с ручным управлением MDA-400M производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd. (Корея).

 

В одном из московских институтов  поставлены 2 микроскопа Nikon Eclipse LV150N производства Nikon (Япония). Микроскопы используются для инспекции п/п пластин в отраженном свете.

 

В ОАО НИИ ПОЛЮС им.Стельмаха в Москве внедрена вторая установка плазменной очистки, травления и активации поверхности п/п пластин Pico производства Diener electronic GmbH (Германия). Установка имеет специальное исполнения для работы с коррозионными газами (SF6, CF4) и оснащена СВЧ генератором 2,45 ГГц и используется как для задач очистки пластин от органических загрязнений и активации поверхности, так и для задач снятия слоев фоторезиста и травления во фторидах (например, снятие SiO2 пленки).

 

В ОАО "Радиоэлектроника им. Шимко" в Казани установлена и внедрена настольная установка лазерной безмасковой литографии microPG 101 производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия). Установка оснащена пишущей головой на 3 микрона и опцией автоматического совмещения.

 

Сервис-инженеры нашей компании запустили лазерный сканирующий эллипсометр SE 400adv производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) в НИИИС им. Седакова в Н.Новгороде. Прибор оснащен моторизованным столиком для меппинга (150 х 150 мм) и  опцией автофокусировки.

 

В ООО БУТИС, Москва поставлена центрифуга для нанесения фоторезиста SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd. (Корея) с комплектом держателей для пластин диаметром 76-100 мм и кусочков.

 

Наша компания приняла участие в ежегодной выставке оборудования и материалов микроэлектроники SEMICON Moscow 2014. Компания традиционно представила своих производителей: SENTECH Instruments, Angstrom Engineering Inc, Diener electronics, ANNEALSYS, Heidelberg Instruments, MIDAS SYSTEM, MicroXact, SENSOFAR и др. и представила установку нанесения фоторезста SPIN-1200T и установку плазменной очистки и активации поверхности Pico.

 

В Институте проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН (ИПТМ РАН) г.Черноголовка запущена высоковакуумная печь быстрого термического отжига пластин модели AS-ONE 100 производства ANNEALSYS (Франция). Установка предназначена для процессов быстрого термического отжига (RTA) п/п пластин в высоком вакууме при температуре до 1500 оС. Установка имеет вакуумную откачку: форвакуумный+турбомолекулярный насос.

 

В ОАО "ОКБ-Планета" в Великом Новгороде поставлена и внедрена установка высокоскоростного низкотемпературного ICPECVD осаждения диэлектриков SI 500D производства SENTECH Instruments GmbH (Германия). Установка оснащена лазерным интерферометром для контроля скорости осаждения и определения точки окончания процесса также производства фирмы SENTECH Instruments GmbH, что является неоспоримым плюсом при использовании всего комплекса. Также установка оснащена системой подачи жидких прекурсоров для получения окисла TEOS (HMDS).

 

В НИИ РЭТ МГТУ им. Н.Э. Баумана установлена настольная установка лазерной безмасковой литографии microPG 101 производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия). Установка оснащена UV диодным лазером (375 нм), который позволяет экспонировать как стандартные резисты, так и UV резисты (такие как SU8). Поставленная установка имеет возможность устанавливать разные пишущие головки (оснащена пишущей головой на 0,9 мкм). Комплектация установки имеет систему автоматического совмещения и оснащена антивибрационным столом.

 

Наша компания приняла участие в ежегодной выставке вакуумной техники и технологий ВакуумТехЭкспо 2014. Выставка проходила в Сокольниках с 15-17 апреля. Наша компания представила ведущих производителей вакуумного технологического оборудования: SENTECH Instruments GmbH, Diener electronics GmbH, Angstrom Engineering Inc., ANNEALSYS и др. , а также представила установку плазменной очистки и активации поверхности модели Pico производства  Diener electronics GmbH (Германия). Посетители выставки имели возможность ознакомиться с установкой, задать свои вопросы и провести тестовые процессы очистки своих образцов.

 

В ОАО ФНПЦ НИПИ "КВАРЦ" им. А.П. Горшкова, г.Н.Новгород  поставлена и внедрена установка магнетронного распыления и термо-резистивного испарения EvoVac производства Angstrom Engineering Inc. (Канада). Установка оснащена 3 магнетронами диаметром 6 дюймов для распыления металлов (в том числе один магнетрон для распыления ферромагнетиков т.к. Ni), двумя резистивными испарителями, источником ионной очистки подложек перед напылением и держателем 12 подложек 60х48 мм с нагревом до 400 оС и возможностью переворота подложек для реализации двухстороннего напыления.

 

В один из Новосибирских университетов поставлена центрифуга для нанесения фоторезиста SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd. (Корея) с комплектом держателей.

 

В ОАО "Завод "Метеор" г.Волжский запущена еще одна (уже третья) автоматическая зондовые станции SPS-2850-RFTC производства MicroXact Inc.(США). Установка оснащена термо-крио столиком, RF зондами для измерения в диапазоне до 20 ГГЦ, экранированием для создания защитной атмосферы и для проведения светочувствительных измерений.

 

В ОАО "РКС" поставлен новый бесконтактный 3D профилометр модели S neox (конфокальная и интерферометрическая профилометрия) производства SENSOFAR-TECH (Испания). Прибор комбинирует как интерферометрическую так и конфокальную профилометрию, что делает прибор более универсальным инструментом для различного круга задач. Поставленные прибор оснащен комплектом из шести интерферометрических и конфокальных объективов, столиком, циклическим пьезо сканером (разрешение по оси Z - 0,1 нм) для более чувствительных измерений по Z.

 

Наша компания поставила и внедрила настольный растровый электронный микроскоп с приставкой ЭДС модели JCM-6000 Neoscope II производства JEOL (Япония). Прибор позволят наблюдать объекты с увеличением от 10 до 60 000 крат с разрешением до 20 нм в режиме высокого вакуума. РЭМ работает в трех режимах ускоряющего напряжения: 5, 10 и 15 кВ. Также прибор оснащен приставкой ЭДС, которая позволяет производить локальный хим. анализ исследуемого образца.

 

В ФГУП ВИАМ в г.Москва запущен бесконтактный 3D профилометр (конфокальная и интерферометрическая профилометрия) модели Plu neox фирмы SENSOFAR-TECH (Испания). Прибор комбинирует как интерферометрическую так и конфокальную профилометрию, что делает прибор более универсальным инструментом для различного круга задач. Поставленные прибор оснащен комплектом из шести интерферометрических и конфокальных объективов, столиком, циклическим пьезо сканером (разрешение по оси Z - 0,1 нм) для более чувствительных измерений по Z и имеет антивибрационный стол с активной виброизоляцией.

ФГУП ВИАМ является несомненным лидером в разработке новых материалов для авиационной промышленности.

 

В НИИФИ, Пенза  внедрена и запущена полностью автоматическая промышленная измерительная система SENDURO на базе спектроскопического эллипсометра  производства SENTECH Instruments GmbH (Германия). Система будет выполнять как производственные задачи измерения толщин тонких пленок, получаемые методами термической обработки (термические оксиды - в диффузионных печах), а также полученные методами PECVD и LPCVD, так и задачи исследовательского характера в области тонких пленок

 

В НИТУ МИСиС внедрена установка реактивно-ионного травления модели SI 591 (RIE) производства SENTECH Instruments GmbH (Германия). Установка предназначена для травления металлов, оксидов и нитридов металлов, диэлектриков и кремния на пластинах диаметром до 200мм. Установка оснащена лазерным интерферометром для контроля скорости травления и определения точки окончания процесса также производства фирмы SENTECH Instruments GmbH, что является неоспоримым плюсом при использовании всего комплекса.

 

В ЗАО НПФ "ЭЛТАН" внедрена и запущена установка глубокого высоко анизотропного травления кремния (Bosh процесс) модели SI 500 (ICP-RIE) производства SENTECH Instruments GmbH (Германия). Установка предназначена и сконфигурированая для глубокого травления кремния на пластине до 200мм. Наши специалисты провели не только подключение, пуско-наладочные работы и обучение персонала заказчика, но и отработку технологи на образцах заказчика и выполнили приемо-сдаточные процессы.

 

В НИТУ МИСиС в Москве установлена и внедрена настольная высокоскоростная установка безмасковой литографии microPG 501 производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия).

 

Нашей компанией поставлен и внедрен измерительный микроскоп NIKON MM 800 производства NIKON (Япония). Микроскоп позволяет производить измерения в трех осях, а также проводить угловые измерения.

 

В ОАО КЗРТА г.Жуков запущена центрифуга для нанесения фоторезиста SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd.(Корея)

 

В ГОУ ВПО "Северо-Кавказском Федеральном Университете" (СКФУ) г.Ставрополь установлена настольная установка высокоскоростной безмасковой литографии microPG 501 производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия).

 

В ОАО "ОКБ-Планета" в Великом Новгороде поставлена настольная диффузионная печь PEO-601 производства ATV Technologie GmbH (Германия). Установка предназначена для процессов сухого/мокрого окисления и отжига полупроводниковых пластин диаметром до 100 мм при температуре до 1100 оС.

 

В Институте космических исследований РАН (ИКИ РАН) в Москве запущена установка плазменной очистки ATTO производства Diener electronic GmbH (Германия)

 

В ОАО АК Алроса в г.Мирный запущен бесконтактный 3D профилометр (конфокальная и интерферометрическая профилометрия) модели Plu neox фирмы SENSOFAR-TECH (Испания). Прибор комбинирует как интерферометрическую так и конфокальную интерферометрию, что делает прибор более универсальным инструментом для различного круга задач. Поставленные прибор оснащен комплектом из шести интерферометрических и конфокальных объективов, моторизованным столиком, циклическим пьезо сканером для более чувствительных измерений по Z и имеет антивибрационный стол с активной виброизоляцией.

 

В ОАО НПП Сапфир в Москве запущена установка производства ОСЧ азота для производства изделий микроэлектроники GNDPM 90/60 с компрессорным оборудованием производства Erre Due S.p.A. (Италия). Азотная станция GNDPM 90/60 имеет производительность  до 60 м3/час, чистоту азота по 99,9997-99,9999%, точка росы до -70 oC. Серия станций GNDPM выполнена в едином блоке со встроенным на ней колоннами разделения, осушителем, блоком водородной доочистки азота, что является очень компактным и удобным решением для производств имеющих ограниченные производственные площади. Подобные установки также установлены на многоих предприятиях в РФ и имеют всю необходимую разрешительную документацию (Разрешение на применение Ростехнадзора и сертификаты соответствия).

 

В ГОУ ВПО "Кубанском Государственном Университете" г.Краснодар установлена настольная установка лазерной безмасковой литографии microPG 101 производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия)

 

В ИПЛИТ РАН запущена центрифуга для нанесения фоторезиста SPIN-1200T производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd.(Корея)

 

 

В ОАО "Завод "Метеор" г.Волжский запущены две автоматические зондовые станции SPS-2850-RFTC производства MicroXact Inc.(США). Установки оснащены термо-крио столиком, RF зондами для измерения в диапазоне до 20 ГГЦ, экранированием для создания защитной атмосферы и для проведения светочувствительных измерений.

 

В ГОУ ВПО МГТУ им.Н.Э. Баумана запущена и внедрена установка плазменной очистки и активации поверхности Pico производства Diener electronic GmbH (Германия).

 

В НПК "Технологическом центре" МИЭТ, г.Зеленоград поставлена и установлена полностью автоматическая промышленная измерительная система SENDURO на базе спектрокопического эллипсометра  производства производства SENTECH Isntruments GmbH (Германия).

 

В ОАО ФНПЦ НИПИ "КВАРЦ" им. А.П. Горшкова, г.Н.Новгород  поставлены и внедрены 2 установки совмещения и экспонирования MDA-400M и 3 центрифуги для нанесения фоторезиста SPIN-1200D производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd. (Корея). Установки используются в технологии гибридной микроэлектроники (микросборки) и сконфигурированы для работы с подложками  размером 60 х 48 мм с фотошаблонами разных размеров.

 

 

В Институте физико-технических проблем РАН (Росатом), г.Дубна поставлена и запущена центрифуга для нанесения фоторезиста SPIN-1200D производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd. (Корея)

 

В ОАО НПО ИТ, г.Королев поставлена и запущена центрифуга для нанесения фоторезиста SPIN-3000A производства MIDAS SYSTEM Co.Ltd. (Корея).

 

В Воронежской государственном университете установлена и внедрена установка вакуумного (магнетронного) напыления Covap II производства Angstrom Engineering Inc. (Канада). Установка оснащена 2-ух дюймовым магнетроном для напыления металлов в исследовательских целях и системой контроля скорости и толщины напыляемых слоев.

 

 

В Саранске запущены две печи быстрых термических процессов AS-One 100 HT и AS-One 100  производства ANNEALSYS (Франция). Установки предназначены для процессов быстрого термического окисления (RTO) пластин карбида кремния (SiC) в высоком вакууме при температуре до 1500 оС и отжига омических контактов на пластинах карбида кремния (SiC) в среднем вакууме соответственно на пластинах диаметром до 100 мм. Поставленные установки имеют вакуумную откачку (форвакуумный+турбомолекулярный насос и форвакуумный насос соответственно) что позволяет проводить процессы отжига, окисления и др. в вакууме и достигать также высокой чистоты процесса. Установки оснащены необходимым количеством газовых линий для проведения окисления и отжига SiC пластин.

 

В Институте нанотехнологий и микроэлектроники РАН в Москве запущен полностью автоматический промышленный спектроскопический эллипсометр SENDURO производства производства SENTECH Isntruments GmbH (Германия). Прибор будет выполнять как производственные задачи измерения толщин тонких пленок, так и задачи исследовательского характера в области тонких пленок.

 

В ОАО "Ангстрем" прошло плановое ТО полностью автоматического промышленного эллипсометра SENDURO производства SENTECH Isntruments GmbH (Германия). Напомним, что прибор стоит в цехе диффузии предприятия и выполняет рутинные задачи измерения диэлектрических слоев в производственном процессе.

 

В ЗАО ГРУППА КРЕМНИЙ-ЭЛ г.Брянск (бывший Брянский завод полупроводников) поставлена и внедрена установка плазмо-химичесого травления кремния в индуктивно-связанной плазме модели SI 500 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия). Установка сконфигурирована для глубокого травления кремния (Bosh процесс) и травления Pt и Au (Ar sputtering). Установка имеет сухую вакуумную откачку, а также систему лазерного интерферометрического контроля производства SENTECH Instruments для определения конечной точки травления (end-point monitor) и определения скорости травления пленок.

 

ЗАО "НПП "Планета-Аргалл" в Великом Новгороде поставлена и внедрена центрифуга для нанесения фоторезиста SPIN-1200D производства MIDAS SYSTEM CO. Ltd. (Корея)

 

В ОАО "ОКБ-Планета" в Великом Новгороде поставлена и внедрена вторая установка совмещения и экспонирования MDA-400M производства MIDAS SYSTEM CO. Ltd (Корея)

 

В МИЭТе в Зеленограде поставлена и внедрена установка быстрого термического отжига AS-One 100 HT производства ANNEALSYS (Франция). Установка предназначена для процессов быстрого термического отжига (RTA), быстрого термического окисления (RTO), постимплантационного отжига, отжига контактов и др. на пластинах диаметром до 100 мм. Поставленная установка имеет высоковакуумную откачку (форвакуумный и турбомолекулярный насос) что позволяет проводить процессы отжига, окисления и др. в высоком вакууме и достигать также высокой чистоты процесса. Установка выполнена в высокотемпературном исполнении (до 1500 оС), что позволяет проводить ряд процессов - например пост имплантационный отжиг пластин Si, SiC и других подложках, а также имеет 4 газовые линии для подачи различных сред для наибольшей гибкости в проведении процессов.

 

 

В ГОУ ВПО Волгоградский Государственный Технический Университет внедрена установка плазменной очистки Femto PLC производства Diener electronic GmbH (Германия)

 

В НИТУ МИСиС в Москве установлена центрифуга для нанесения фоторезиста SPIN-1200D производства MIDAS SYSTEM CO. Ltd (Корея)

 

В ОАО «Специальное конструкторско-технологическое бюро по релейной технике» (ОАО «СКТБ РТ»), В.Новгороде внедрена установка совмещения и экспонирования MDA-400M производства MIDAS SYSTEM CO. Ltd (Корея) Установка сконфигурирована для работы с подложками  размером 60 х 48 мм.

 

 

В Нижегородском НИИ радиотехники (ННИИРТ), Н.Новгород внедрена установка совмещения и экспонирования MDA-400M производства MIDAS SYSTEM CO. Ltd. (Корея). Установка сконфигурирована для работы с подложками  размером 60 х 48 мм.

 

В КБ Икар, Н.Новгород внедрена установка плазменной очистки Zepto LF производства Diener electronic GmbH  (Германия). Установка предназначена для очистки изделий от органических загрязнений.

 

В Наноцентре Северо-Кавказского Федерального Университета в г.Ставрополь установлен и внедрен спектроскопический эллипсометр SE 800 (280-850 нм.) производства SENTECH Instruments GmbH (Германия).

 

В ФГУП "НИИПА," Дубна запущен и внедрен спектроскопический эллипсометр SE 800Е производства SENTECH Instruments GmbH (Германия).

 

В ГОУ ВПО "Петрозаводский Государственный Университет" внедрена настольная установка лазерной безмасковой литографии microPG 101 производства Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH (Германия). Устновка используется для исследовательских работ как для прямого формирования рисунка на пластине, так и для изготовления фотошаблонов.

 

В ОАО "Завод МЕТЕОР" внедрена вторая установка плазменной очистки ATTO I производства Diener electronic GmbH (Германия). Установка закуплена в рамках дооснащения лаборатории в связи с увеличением количества обрабатываемых изделий.

 

В одном из московских НИИ запущен и внедрен спектроскопический эллипсометр SE 800Е производства SENTECH Instruments GmbH (Германия). Прибор работает в диапазоне длин волн от 240-930 нм, имеет моторизованны столик для сканирования поверхности пластин, моторизованный гониометр и FTP рефлектометр как приставку ,что позволяет решать комплекс задач по метрологии пленок как в производстве, так и в исследованиях.

 

В ФТИ им. А.Ф.Иоффе РАН в Санкт-Петербурге запущен широковолновый спектроскопический эллипсометр SE 850 DUV производства SENTECH Instruments GmbH (Германия). Прибор имеет моторизованный гониометр, моторизованный столик для сканирования всей поверхности образца в автоматическом режиме и составления латерального распределения толщины пленки по поверхности образца, рефлектометрический зонд FTPadv, приспособление для проведения измерения на просвет и видеокамеру для более удобного выравнивания столика.

Прибор закуплен для исследований в рамках программы строительства ИТЭР.

 

В НИО физики прочности Тольяттинского Государственного Университета в г. Тольятти запущен новейший настольный сканирующий электронный микроскоп JEOL JCM-6000 Neoscope II производства JEOL (Япония). Микроскоп приобретен для проведения рутинных исследований различных образцов (металлов и не металлов).

 

В ГОУ ВПО "Тольяттинский Государственный Университет" г. Тольятти запущен новейший настольный сканирующий электронный микроскоп JCM-6000 Neoscope II.

 

В ОАО "Темп-Авиа" г. Арзамас запущена установка двухстороннего совмещения и экспонирования MDA-400M производства MIDAS SYSTEM CO. Ltd. (Корея).

 

В  ОАО «Завод «Метеор» поставлена и внедрена центрифуга для нанесения фоторезиста SPIN-1200D производства MIDAS SYSTEM CO. Ltd. (Корея).

 

В Пензенском ОАО "НИИ физических измерений" поставлены и внедрены две автоматические зондовые станции SPS-2600-PLUS производства MicroXact Inc. (США). Станции предназначения для DC измерений с 10-ти зондов и проведения температурных испытаний (-100 оС до +200 оС). Станции оснащены УЗ резками для подгонки в процессе измерений.

 

В Пензенском ОАО "НИИ физических измерений" поставлена и внедрена уже вторая трех канальная диффузионная печь SVFUR произвоства SVCS (Чехия). Поставка второй печи стала логическим продолжение переоснащения участка диффузионных процессов в НИИФИ и заменой устаревших печей на новые печи SVCS включая газовые панели к ним.

 

В  ОАО  НПП "Сапфир" Москва поставлена и внедрена установка плазменной очистки Pico тип B производства Diener electronic GmbH (Германия).