Инспекционные микроскопы NIKON.

NIKON (Япония) - производит установки литографии (степперы), оптические микроскопы различного назначения и измерительные системы.

 

NIKON является неоспоримым лидером в производстве промышленных систем литографии (степперы), оптических микроскопов (стерео микроскопы, металлографические микроскопы (прямые и инвертируемые), инспекционные микроскопы в электронике и полупроводниковом производстве, поляризационные микроскопы, измерительные микроскопы и видеоизмерительные системы, конфокальные измерительные микроскопы, профильные проэкторы).

 

Инспекционные микроскопы NIKON:

 

Серия ECLIPSE L200 (IC inspection) - инспекционные микроскопы для контроля качества интегральных схем в полупроводниковой промышленности и микроэлектронике. Системы микроскопии для контроля качества 200 мм пластин и фотошаблонов, предназначенные для обнаружения дефектов в отраженном свете.

Самостоятельно или в комбинации с загрузчиком пластин микроскопы серии L200 обеспечивают исключительную точность в процессе оптического контроля полупроводниковых пластин, фотошаблонов, сеток и прочих подложек.

 

ECLIPSE L200 инспекционный микроскоп: Контроль качества 200 мм пластин и фотошаблонов для обнаружения дефектов в отраженном свете.

ECLIPSE L200ND инспекционный микроскоп: Автоматизированная версия модели L200. Часто используемые операции, такие как настройка апертуры, фокусировка, смена режима наблюдения светлое/темное поле, вращение револьвера объективов, регулировка интенсивности освещения и настройка ДИК, моторизованы, и управление ими может осуществляться с помощью дистанционного управления или с ПК. Может оснащаться автоматическим загрузчиком пластин.

ECLIPSE L200A инспекционный микроскоп: Самая передовая модель. Обладает также возможностью наблюдений в проходящем свете, что идеально подходит для задач контроля качества ЖК-панелей и фотошаблонов.

 

Категория: Микроскопы для производства полупроводников

Применение: пластины, полупроводниковые пластины (диаметр до 200 мм или 200х200 мм), ЖК дисплеи, фотошаблоны

Методы получения изображения: Светлое поле, темное поле, ДИК, простая поляризация

Объективы: Серия CFI60 (бесконечная), увеличение от 50 до 1000 крат, с увеличенным рабочим расстоянием, со сверхбольшим рабочим расстоянием.

 

Брошюра - инспекционный микроскоп серии ECLIPSE L200...

 

NWL200 - новейший и наиболее «продвинутый» загрузчик пластин от Nikon для микроскопов для визуального контроля интегральных схем.

 

Серия NWL200 – это первая линейка загрузчиков пластин для микроскопов для визуального контроля, позволяющих осуществлять загрузку пластин толщиной 100 мкм. Благодаря новой системе вакуум-присоса в серии NWL200 достигается высоконадежная загрузка, что идеально для контроля полупроводников следующего поколения. Усовершенствованные функции обнаружения пластин также предотвращают их повреждения, в то время как благодаря функции обнаружения откалывания краев пластин автоматически идентифицируются соответствующие дефекты.

 

Брошюра - автоматический загрузчик пластин NWL200...

 

Серия ECLIPSE L300 (IC inspection) - инспекционные микроскопы для контроля качества интегральных схем в полупроводниковой промышленности и микроэлектронике.

Системы микроскопии для контроля качества 300 мм пластин и фотошаблонов, предназначенные для обнаружения дефектов в отраженном свете.

 

Разработанные для контроля качества 300-мм пластин и фотошаблонов, микроскопы серии Eclipse L300 соответствуют также требованиям, предъявляемым к конечному контролю качества плоских панелей, включая ЖК-панели. В микроскопах модели L300 используется знаменитая оптическая система CFI60 от Nikon, которая обеспечивает высокое разрешение, контраст и коэффициент пропускания. Яркость изображений была значительно улучшена по сравнению с традиционными микроскопами, благодаря чему данная серия подходит для различных задач контроля качества.

 

ECLIPSE L300 инспекционный микроскоп: Эпископическое освещение

Диапазон перемещения предметного столика: 354 х 302 мм

ECLIPSE L300D инспекционный микроскоп: Диаскопическое/эпископическое освещение

Диапазон перемещения предметного столика: 354 х 302 мм (при диаскопическом освещении: 354 х 268 мм)

 

Категория: Микроскопы для производства полупроводников

Применение: пластины, полупроводниковые пластины (диаметр до 300 мм или 300х300 мм), ЖК дисплеи (17-дюймовый для ECLIPSE L300D), фотошаблоны

Методы получения изображения: Светлое поле, темное поле, ДИК, простая поляризация

Объективы: Серия CFI60 (бесконечная), увеличение от 15 до 2000 крат  (в зависимости от окуляра и объектива), с увеличенным рабочим расстоянием, со сверхбольшим рабочим расстоянием.

 

Брошюра - инспекционный микроскоп серии ECLIPSE L300...

 

Серия ECLIPSE L300N (IC inspection) - инспекционные микроскопы для контроля качества интегральных схем в полупроводниковой промышленности и микроэлектронике.

Системы микроскопии для контроля качества 300 мм пластин и фотошаблонов, предназначенные для обнаружения дефектов в отраженном свете. Улучшенная функция эпифлуоресценции, позволяющая производить измерения на длине волны 365 нм (UV). Микроскоп является оптимальным решением для контроля остатков резиста на пластинах (до 300 мм).

 

Категория: Микроскопы для производства полупроводников

Применение: пластины, полупроводниковые пластины (диаметр до 300 мм или 300х300 мм), ЖК дисплеи (17-дюймовый для ECLIPSE L300D), фотошаблоны

Методы получения изображения: Светлое поле, темное поле, ДИК, простая поляризация, эпи-флуоресценция

Объективы: Серия CFI60 (бесконечная), увеличение от 15 до 2000 крат  (в зависимости от окуляра и объектива), с увеличенным рабочим расстоянием, со сверхбольшим рабочим расстоянием.

 

Брошюра - инспекционный микроскоп серии ECLIPSE L300N...

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас продукцию по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.