Партнеры компании "ЭНЕРГОАВАНГАРД"

SENTECH Instruments GmbH (Германия) - компания занимается разработкой и производством систем плазмо-химического травления (RIE, ICP-RIE), плазмо-химического осаждения диэлектриков (PECVD, ICPECVD), а также систем метрологии тонких пленок для измерения толщины и оптических показателей тонких пленок (лазерные эллипсометры, спектроскопичесике эллипсометры, сканирующие эллипсометры, рефлектометры).

 

Angstrom Engineering Inc. (Канада) - стремительно развивающаяся и одна из самых быстро растущих технологических компаний Канады. Компания основанная в 1992 году на сегодняшний момент является глобальным мировым игроком на рынке вакуумного технологического и исследовательского оборудования. Сегодня компания предлагает оборудования для различных процессов вакуумного нанесения пленок, таких как магнетронное напыление (sputter deposition), электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation), ионное напыление (ion-assisted deposition), резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation), а также оборудование для эмуляции космического пространства. Установки производства Angstrom Engineering Inc. представляют собой линейку машин от маленьких установок (один процесс в установке) для исследовательских задач до установок для обработки большого количества пластин за загрузку с многочисленными возможностями по компоновке машин модулями для различных процессов. Также компания изготавливает установки по индивидуальным требованиям заказчика.

 

Diener electronics GmbH (Германия) - компания разрабатывает и производит системы плазменного травления, плазменной очистки и активации поверхности.
 

 

Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH - компания является неоспоримым и признанным мировым лидером в разработке систем безмасковой лазерной литографии с непосредственным формированием изображения предназначены  для формирования топологических структур на металлизированных пластинах при производстве фотошаблонов, интегральных схем, гибридных интегральных схем, а также для формирования микроструктур на пластинах кремния, стекле, пленках и других материалах с фоторезистивным покрытием при производстве МЭМС, БиоМЭМС, интегрированной оптики.

 

MIDAS SYSTEM Co., Ltd. - компания один из мировых лидеров в производстве систем фотолитографии для процессов производства полупроводников и FPD (Flat Panel Display) дисплеев. Компания предлагает установки и системы совмещения и экспонирования, а также центрифуги для нанесения фоторезиста для технологий flip chip, полупроводниковые приборы, MEMS, оптоэлектроника, СВЧ приборы, дифракционная оптика, LED чипы и др.

 

 

LAPMASTER WOLTERS (бывшая Peter Wolters GmbH (Германия)) - производит и предлагает самый широкий диапазон станков для высокоточной обработки материалов шлифованием и полированием как для машиностроения так и для полупроводниковой промышленности (шлифование и полирование пластин)

Компания Peter Wolters GmbH предлагает широкий ряд станков от однодисковых и двухдисковых машин для высокоточного шлифования и полирования плоских поверхностей (пластин) с одной и двух сторон для мелкосерийного производства до сложных комплексных решений для задач обработки поверхностей пластин (шлифование и полирования) в крупносерийной производстве полупроводников.

 

ATV Technologie GmbH (Германия)  - компания разработчик и производитель лабораторных настольных диффузионных печей для групповой обработки пластин для полупроводниковой промышленности (НИОКР и мелкая серия).  Печи для атмосферной обработки и LPCVD процессов  (химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении).

 

SVCS (Чехия)  - компания разработчик и производитель промышленных горизонтальных диффузионных печей для групповой обработки пластин для полупроводниковой промышленности и производства изделий фотовольтаики (производство солнечных элементов). Печи для атмосферной обработки и LPCVD процессов  (химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении).

 

ANNEALSYS (Франция) - компания разработчик и производитель высококачественных систем для таких процессов как быстрые термические процессы (Rapid Thermal Processing - RTP), быстрый термический отжиг (Rapid Thermal Annealing - RTA), быстрое термическое окисление (Rapid Thermal Oxidation - RTO), химическое осаждение из газовой фазы (Chemical Vapor Deposition - CVD, Metal Organic Chemical Vapor Deposition - MOCVD, SprayCVD), LPCVD. Компания производит установки как для исследований (R&D) так и для мелкосерийного производства. Область применения: Кремний (Silicon), полупроводниковые соединения, микромеханика (MEMS), солнечные элементы, стекло, оптика и т.д.   

 

Компания "OKSAN" Корея, производит системы многопроволочной резки твердых и хрупких материалов на тонкие пластины и кристаллы с очень высокой точностью. Широкий спектр применения, большой опыт работы с материалами, требующими высочайшей точности и качества резки, а также множество инноваций, делает линию станков OKSAN типа MWS (Multi Wire Saw) одними лучших в мире.

 

 

NANO-MASTER предлагает системы по очистке пластины/фотошаблонов и системы по очистке больших подложек, учитывая современный уровень развития техники.   Ультразвуковая очистка, химическая очистка, щеточная очистка и сушка в одном процессе производится без повреждения подложек с нанесенными структурными элементами или без них, а также на фотошаблонах.

 

Основанная в 1952 году компания ULVAC INC. является мировым лидером в производстве промышленного и исследовательского вакуумного оборудования. Сегодня ULVAC – это большая корпорация, объединяющая 36 самостоятельных компаний: Ulvac-Riko (Sinko-Riko), Ulcoat, Ulvac Cryogenics, Ulvac Techno, Sanko-Ulvac и др., работающих в области вакуумных технологий. ULVAC – лидер в этой области благодаря колоссальному опыту и команде преданных своему делу профессионалов.

 

Advanced Dicing Technologies Ltd. (ADT) - мировой лидер в производстве и разработке систем дисковой резки материалов и систем лазерного скрайбирования. ADT предлагает оборудование для резки материалов с различной степенью автоматизации для удовлетворения любых требований заказчика.

 

Компания FHR Anlagenbau GmbH (Германия) с недавних пор входящая в группу копаний Сentrotherm photovoltaics AG входит в дрезденскую организацию Silicon Saxony производителей оборудования для производства полупроводников. Компания является одной из передовых в разработке систем для вакуумного напыления тонких пленок для производства полупроводников и оптики, атомно-слоевого осаждения (ALD) и систем для производства солнечных элементов (Photovoltaics) и установок отжига с помощью импульсных ламп (FLA - Flash Lamp Annealing)установок нанесения покрытий на ленту (web coatings) по индивидуальным. требованиям заказчика.

 

MicroXact Incorporated (США) - компания разрабатывает и производит широкий круг зондовых станций для контроля в производстве полупроводниковых прибор и исследованиях. Системы максимально доступны и легки в использовании. Сконструированные компанией MicroXact Inc. точные и надежные аналитические системы для зондовых измерений могут быть полностью оптимизированы под практически любую задачу и требования заказчика. Технически зондовые станции могут быть сконструированы для пластин диаметром до 200 мм. и сконфигурированы для измерений DC, RF, температурных и оптических измерений как в ручном так и в автоматическом режимах.

 

Sensofar-Tech, SL - ведущая технологическая компания в области технологий оптической бесконтактной профилометрии, конфокальной микроскопии и метрологии поверхности. Компания разрабатывает и производит высокоточные оптические профилометры на базе методов интерферометрии и конфокальной микроскопии. Компания может предложить как стандартные решения для инспекции поверхности для лабораторий (R&D) так и решения по бесконтактной инспекции поверхности для промышленности, а также встроенные в производственный процесс системы. Sensofar предлагает решения для инспекции поверхности в полупроводниковой промышленности и исследованиях, точной оптике, в производстве запоминающих устройств, дисплеев, анализе тонких пленок.

 

Frontier Semiconductor, Inc, (FSM), предлагает широкий выбор передовых метрологических продуктов и решений в производстве полупроводников, LED, Фотовольтатики, FPD, хранения данных и MEMS применений. Компания имеет более чем 25 летний опыт в измерении напряжений пленок, тестирования адгезии пленок, метрологии пластин (топографии, TTV, BOW, WARP, Total wafer thickness) и определения электрических характеристик (4-point probes). Последние разработки включают уникальную технологию для метрологии потребностей производства 3DIC. Компания отгрузила свои первые установки для пластин до 450 мм.

 

 

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

 

 

Основанная в Японии в 1951 году Корпорация Ригаку (Rigaku Corporation) с момента своего создания занимает передовые рубежи в использовании сверхсовременных технологий при производстве измерительной техники, необходимой как для научных исследований, так и для промышленных применений. Ригаку в переводе с японского языка означает физические науки, являющиеся основой приборостроения. Благодаря опыту, инновационным конструкторским решениям, высокому уровню производства, Rigaku стала мировым лидером в рентгеновской спектрометрии, дифрактометрии, рентгеновском определение ориентации монокристаллов, рентгеновской оптике и молекулярной и белковой кристаллографии. Большое количество моделей приборов, выпускаемых фирмой RIGAKU, позволяют подобрать ту из них, которая максимально полно отвечает потребностям пользователя. Это и обуславливает большую популярность оборудования RIGAKU во всем мире.

 

NIKON INSTRUMENTS INC. — компания-производитель научного оптического оборудования, входящая в корпорацию NIKON — одного из мировых гигантов оптического приборостроения, имеющего почти 90-летнюю историю работы на этом рынке. NIKON  INSTRUMETNS INC. специализируется на производстве оптических и опто-электронных приборов, а также программного обеспечения для биомедицинских, промышленных, информационных и др. отраслей. Благодаря высочайшему качеству оборудования, а также возможности предложить заказчику комплексное решение его задач, продукция NIKON INSTRUMETNS INC. занимает лидирующие положение не только в Азии, но и по всему миру.

NIKON является неоспоримым лидером в производстве промышленных систем литографии (степперы), оптических микроскопов (стерео микроскопы, металлографические микроскопы (прямые и инвертируемые), инспекционные микроскопы в электронике и полупроводниковом производстве, поляризационные микроскопы, измерительные микроскопы и видеоизмерительные системы, конфокальные измерительные микроскопы, профильные проэкторы).

 

OXFORD Instruments (UK) - производитель оптико-эмиссионных анализаторов металлов и сплавов (оптико-эмиссионные спектрометры).

Спектрометры как экспресс метод предназначены для определения химического состава металлов и сплавов с высокой точностью (качественный и количественный анализ).

 

CS CLEAN SYSTEMS лидер в производстве систем для нейтрализация отходящих газов и подачи жидких исходных реагентов для производства полупроводниковых, фотогальванических и микроэлектромеханических устройств.

 Защита окружающей среды – основа деятельности компании CS Clean Systems. Экологичная технология CLEANSORB позволяет безопасно нейтрализовать вредные отходящие газы, не расходуя при этом ни энергию, ни воду, ни топливо. Отсутствуют вторичные выбросы в окружающую среду в виде сточных вод или окислов азота. Кроме того, все продукты компании удобны в обслуживании в течение срока эксплуатации и пригодны для повторного использования.

 

 

Промышленные и лабораторные генераторы чистых газов (Азот, Кислород, Водород) производства Erre Due s.r.l. (Италия)

 

Установки производства Азота, Кислорода и Водорода производства Erre Due s.r.l. нашли свое применение в различных отраслях промышленности, в том числе многочисленных процессах производства изделий микроэлектроники и производства полупроводников и приборов и продуктов нанотехнологий.

Генераторы азота с чистотой азота до 99,9999%

Генераторы водорода с чистотой до 99,9997%

Генераторы кислорода с чистотой 90-95%