Установки плазмы низкого давления для травления, плазменной очистки и активации поверхности

Установки (плазма низкого давления) плазменного травления и плазменной очистки производства Diener electronic  (Германия)

 

Установки предназначены для очистки, активации, и травления, а также для проведения плазменной полимеризации поверхностей. Камера установки, в которой находится подложка, откачивается насосом Leybold (или Edwards), входящим в комплект, до установления требуемого уровня вакуума. Предлагается широкий перечень заказного оборудования для максимального соответствия запросам пользователей.

 

Использование плазмы низкого давления предоставляет широкий спектр возможностей для модификации поверхностей. Тонкая очистка загрязненных элементов конструкции, плазменная активация пластмассовых деталей, травление ПТФЭ, кремния и нанесение ПТФЭ-подобных покрытий на пластмассовые элементы – это только часть возможного применения. Плазма низкого давления применяется там, где возникает необходимость соединить различные материалы или целенаправленно изменить поверхностные свойства материалов.

 

Плазменные системы Diener:

 

 Zepto (low cost)

Atto (low cost)

        

Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)

Шкаф распределительного устройства:
Ш 425мм, В 185мм, Г 450мм
Камера:
Материал стекло, Ø 105 мм, Г 300 мм 
Объем камеры:
~ 2,6 литра 
Подвод газа:
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
Генератор:
40 кГц /200 Вт или 13,56 мГц /50 Вт
Вакуумный насос: 
Всасывающий: 2 м³/час
Комплектация:

Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт.
Управление:
Ручное, время устанавливается таймером

Датчик давления: Pirani

Видеопрезентация - youtube

Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)

Шкаф распределительного устройства:
Ш 425мм, В 275мм, Г 450мм
Камера:
Материал стекло, Ø 211 мм, Г 300 мм 
Объем камеры:
~ 10,5 литра 
Подвод газа:
2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
Генератор:
40 кГц /200 Вт или 13,56 мГц /50 Вт
Вакуумный насос: 
Всасывающий: 2 м³/час
Комплектация:

Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт.
Управление:
Ручное, время устанавливается таймером 

Датчик давления: Pirani

Видеопрезентация - youtube

   

Femto

Pico

 

Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)

Камера: Ø 100 мм, Г 270 мм  
Объем камеры: ~ 2 литра

Материалы камеры:
Кварц или боросиликатное стекло. Передняя и задняя части камеры (фланцы) выполнены из алюминия

или из нержавеющая сталь
Подвод газа:

1-3 канала подвода газа с игольчатыми клапанами или с электронной регулировкой (MFC) 
Генератор: 40kHz/0-100 W
(или: 13,56 МГц, или 2,45 ГГц)
Вакуумный насос:
Leybold, тип S1.5 (1.5m/h) или др. 
Комплектация:

Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт.  или лодочки
Управление:

Ручное, время устанавливается таймером или
ПК управление работает с Windows 

Датчик давления: Pirani

Видеопрезентация - youtube

Применение: исследовательские работы, очистка, травление, оптика, лазерная техника

Камера: Ø 150 мм, Г 320 мм
Объем камеры:~ 5 литров

Материалы камеры:
Кварц или боросиликатное стекло. Передняя и задняя части камеры (фланцы) выполнены из алюминия

или из нержавеющая сталь
Подвод газа:
1-2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами или с электронной регулировкой (MFC) 
Генератор: 40 кГц / 200 Вт,
(опционально: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Вакуумный насос: 
Leybold, тип Trivac D5B (5 м³/ч) или др.
Комплектация:
Подложка для обрабатываемых образцов – 1 шт.или лодочки
Управление:
Ручное, время устанавливается таймером или
ПК управление работает с Windows

Датчик давления: Pirani

Видеопрезентация - youtube

 

 

Nano

Tetra 30/100

Применение: очистка, активация, травление, нанесение покрытий

Камера: Ø 267мм, Г 420мм
Объем камеры: ~ 24 литра

Материалы камеры:
Кварц или боросиликатное стекло. Передняя и задняя части камеры (фланцы) выполнены из алюминия

или из нержавеющая сталь

Подвод газа:
1-2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами или с электронной регулировкой (MFC) 
Генератор: 40 кГц / 300 Вт,
(Опционально: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Вакуумный насос: 
Leybold, тип D8B (8 м³/ч) или др.
Комплектация: 
Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт.  или лодочки
Управление:
Ручное, время устанавливается таймером или
ПК управление работает с Windows

Датчик давления: Pirani

Видеопрезентация - youtube

Применение: очистка, активация, травление, нанесение покрытий

Камера: Ш 305мм, В 300мм, Г 370мм
(опционально: Г 625 мм)
Объем камеры:~ 34 литра, ~ 100 литров
Материалы камеры:

нержаеющая сталь

Подвод газа:
1-2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами или с электронной регулировкой (MFC) 
Генератор:
40кГц/0-1000 Вт 
(опционально: 13.56 МГц или 2.45 ГГц)
Вакуумный насос:
Leybold, тип D16B (16 m³/h) или др.
Комплектация:
до 6 ярусов (до 6 подложек для обрабатываемых образцов)
(опционально: вращающийся барабан)
Управление:
Автоматическое, время устанавливается таймером или

ПК управление работает с Windows

Датчик давления: Pirani

Видеопрезентация - youtube

 

 

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.