Установки плазмо-химического осаждения диэлектриков SENTECH

Плазмо-химическое осаждение диэлектриков (PECVD), плазмо-химическое осаждение диэлектриков  в индуктивно-связанной плазме (ICPECVD) производства SENTECH Instruments GmbH (Германия)

 

 

Системы:

 

Depolab 200

PECVD установка плазмо-химического осаждения диэлектриков без вакуумного загрузочного шлюза (open lid system)

PECVD осаждение SiO2, Si3N4, SiOx, SiNy, a-Si

6 газовых линий

Обработка пластин диаметром до 200 мм

Температура подложки до 400 oC

Сухая откачка

Программное обеспечение SENTECH Software

Опции: LF генератор, OES, in-situ эллипсометр

 

 

 

 

SI 500 PPD

PECVD установка плазмо-химического осаждения диэлектриков с вакуумным загрузочным шлюзом:

PECVD осаждение SiO2, Si3N4, SiOx, SiNy, SiOxNy, a-Si

Вакуумный загрузочный шлюз

6 газовых линий

Обработка пластин диаметром до 200 мм

Температура подложки от КТ до 350 oC

Программное обеспечение SENTECH Software

Опции: LF генератор, OES, in-situ эллипсометр, лазерная интерферометрия, источники для осаждения TEOS и др. жидких прекурсоров

 

 

SI 500 D

ICPECVD установка высокоскоростного плазмо-химического низкотемпературного осаждения высококачественных пленок (SiO2, Si3N4, SiOx, SiOxNy) в индуктивно связанной плазме:

ICPECVD осаждение SiO2, Si3N4, SiOx, SiNy, SiOxNy, a-Si

Вакуумный загрузочный шлюз

6 газовых линий

Обработка пластин диаметром до 200 мм

Температура подложки от КТ до 350 oC

Программное обеспечение SENTECH Software

Опции: LF генератор, OES, in-situ эллипсометр, лазерная интерферометрия

 

Кластерная конфигурация систем (до 3 реакторов в кластере).

 

Мониторинг процессов - in-situ эллипсометрия, интерферометрия, оптическая эмиссионная спектрометрия для контроля скорости роста пленок, определения конечной точки окончания процесса (end point detection).

 

 

Презентация компании SENTECH.pdf

Пришлите нам запрос на интересующую Вас установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, lab@eavangard.ru) или по факсу +7 (495) 482 0674  для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.