LCS-4000 - аналитическая зондовая станция с интегрированным лазерным резаком (analytical probe stations with laser cutting system) производства MicroXact Inc. (США)

MicroXact Incorporated (США) - компания разрабатывает и производит широкий круг зондовых станций для контроля в производстве полупроводниковых прибор и исследованиях. Системы максимально доступны и легки в использовании. Сконструированные компанией MicroXact Inc. точные и надежные аналитические системы для зондовых измерений могут быть полностью оптимизированы под практически любую задачу и требования заказчика. Технически зондовые станции могут быть сконструированы для пластин диаметром до 200 мм. и сконфигурированы для измерений DC, RF, температурных и оптических измерений как в ручном так и в автоматическом режимах.

 

Зондовая станция LCS-4000 с интегрированный лазерный резаком:

Зондовая станция с интегрированным лазерным резаком с высоким соотношением цена/качество с управлением с ПК или ручным управлением для исследований и мелкосерийных производств с возможностью апгрейда DC и RF измерения, измерение емкости. Станция LCS-4000 дает максимум гибкости в исследовании полупроводников, лазерной подгонке, лазерного перерезания контактов, анализе отказов, маркировке и лазерного снятия поверхностного слоя в многослойных структурах. Все действия делаются на микроскопическом уровне

 

LCS-4000 предлагается как с полностью ручным управлением так и с полуавтоматическим управлением и может быть легко сконфигурирована для большого числа применений с большим числом различных опций.

Характеристики станции:

 

- Тестирование на пластинах до 100 мм. (4 дюйма)

- манипуляторы зондов для DC или RF измерений

- Интегрированная лазерная система для точного отрезания контактов и снятия поверхностного слоя

- Возможность проводить одновременно и DC и RF измерения в процессе подгонки или снятия дефектов с прибора

- Seiwa микроскоп высокого разрешения с револьверной головкой объективов

- VXM моторизованный столик для перемещения по осям XY

- Диапазон перемещения до 100 х 100 мм.

- Программное обеспечение, руководство по программе

- Разрешение перемещения столика по XY - ±1,5 мкм

- Перемещение по Z - 12,7 мм

- Планарность столика ≤ 12,7 мкм

- Вакуумный держатель

- Перемещение по Тета моторизовано: от 0° - 360°, ±6°

- Разрешение по Тета- 0,01°

- Управление с ПК и джойстиком

- программное обеспечение, руководство по программе

- Seiwa микроскоп высокого разрешения с перемещением XY-100 x 100 мм

- Револьверная головка микроскопа с 4-мя объективами

- Фокусное расстояние +-25 мм

- Пульсовый лазер с воздушным охлаждением Nd: YAG Class IIIb

- Длительность импульса 3-4 нс на всей длине волны

- Ширина импульса: 1064 нм, 532 нм, 355 нм.

- Энергия импульса (высокая/низкая): 

1064 нм, 0,5 mJ / 0,15 mJ

532 nm: 0,5 mJ / 0,15 mJ

355 nm: 0,4 mJ / 0,15 mJ

- Размер отреза:

Мин. (100х объектив)

1064 нм: 2 х 2 мкм

532 нм: 1 х 1 мкм

355 нм: 1 х 1 мкм

Макс. (50х объектив)

1064 нм: 50 х 50 мкм

532 нм: 40 х 40 мкм

355 нм: 30 х 30 мкм

- Опции и апгрейд

 

Опции и дополнительные акцессории:

- Различные модификации микроскопов для лазерной системы

- Поляризационные микроскопы

- Выбор лазеров с двумя или тремя длинами волн

- Широкий выбор камер

- RF chuck и защита от помех

- Полированный латунный или позолоченный вакуумный держатель

- Ультра тихий вауумный насос

- Термо-крио держатели (-100 до +200 оС)

 

 

Брошюра - LCS-4000...

 

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.