SPS-2000 - бюджетная аналитическая зондовая станция с ручным управленим (analytical probe stations) производства MicroXact Inc. (США)

MicroXact Incorporated (США) - компания разрабатывает и производит широкий круг зондовых станций для контроля в производстве полупроводниковых прибор и исследованиях. Системы максимально доступны и легки в использовании. Сконструированные компанией MicroXact Inc. точные и надежные аналитические системы для зондовых измерений могут быть полностью оптимизированы под практически любую задачу и требования заказчика. Технически зондовые станции могут быть сконструированы для пластин диаметром до 200 мм. и сконфигурированы для измерений DC, RF, температурных и оптических измерений как в ручном так и в автоматическом режимах.

 

Зондовая станция SPS-2000 и SPS-2200:

Бюджетная зондовая станция с ручным управлением для исследований и мелкосерийных производств с возможностью апгрейда.

 

Зондовая станция SPS-2000 и SPS-2200 сконструированы для DC, RF и ёмкостных измерений, однако станция также может быть сконфигурирована для температурных и светочувствительных измерений и высоко частотных измерений. Станция полностью готова к апгрейду и возможности конфигурации под любые требования заказчиков. 

 

 

Характеристики станции:

- Тестирование на пластинах до 150 мм (SPS-2000) и до 200 мм (SPS-2200)

- Ручное управление (двух координатные манипуляторы)/ выравнивание по оси Z, микропозиционеры

- Ручной столик с перемещением по XY -до 155 х 155 мм (для SPS-2000) и до 200 х 200 мм (для SPS-2200)

- Разрешение перемещения столика по XY - 5 мкм

- Перемещение по Z в ручную. Точность наклона столика (вертикальная жесткость): ≤ 0,0015 мкм (при 10 кг загрузки)

- Перемещение по Тета: от 0° - 360°, ±6°

- Разрешение по Тета- 0,1°, Воспроизводимость по Тета - 0,1°

- Размеры: 24”Ш x 24”Г x 25”В (61см x 61см x 63 см)

- Вес: 68 кг.

 

Стандартная конфигурация:

- Платформа станции

- 4 манипулятора микропозиционера зондов (2 слева и 2 справа) в стандартной конфигурации

- 4 стандартных рук-зондов и вольфрамовые иглы зондов

- Стереомикроскоп с длинным фокусным расстоянием (цифровая камера - опция)

- Увеличение до 180х

- Высоко мощным LED осветителем с регулировкой интенсивности освещения 

- Окуляры на 10х и 20х для микроскопа

- Вспомогательная 0,5х (Barlow) линза для микроскопа

- Стандартный безмаслянный или ультра тихий вакуумный насос для прижима

- Экранирование от внутренних радиопомех (EMI shilding)

- Не требует пуско-наладочных работ и выезда специалиста

 

Опции и дополнительные акцессории:

- Нагреваемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)

- Охлаждаемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)

- Нагреваемый / охлаждаемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)

- Держатели пластин: до 100 мм, до 150 мм

- Обработка держателей: (полированная латунь, анодированный алюминий, позолоченная полированная латунь)

- Цифровая фото-видеокамера высокого разрешения: по выбору 9,1 ; 5,0 или 1,3 Мегапикселов

- Установка для перемещения микроскопа по XY в диапазоне 50 х 50 мм

- Консольная установка для перемещения по осям XYZ

- Программное обеспечение для камеры для снятия размеров и захвата изображения

- Апгрейд микроскопа для увеличения до 400х

- Световое экранирование (защита) для светочувствительных измерений

- Экранирование (защита) от RF помех

- Лазерный или ультразвуковой резак

- Микропозиционеры высокого разрешения с вакуумной базой

- Микропозиционеры высокого разрешения с магнитной базой

- Полугибкие руки зондов с BNC соединителями

- TRIAX, BNC, Pin-plug соединители

- Зонды: активные, пассивные, ВЧ, триаксиальные, коаксиальные, с низким сопротивлением

- Microxact может использоваться со всеми основными производителями плат  

 

ОПИСАНИЕ:

 

Позиционирование:

XY столик: ручное позиционирование пользователем с помощью системы соосных манипуляторов (ролик для манипулирования по двум осям), расположенных под столиком (платформой). Доступ к манипулаторам через переднюю панель. Вращением обоих роликов (ручек) верхней и нижней, пользователь может осуществлять позиционирование в направлениях по оси X (влево-вправо) или по оси Y (вперед-назад).

 


 

Платформа-плита зондовой станции:

Платформа меняет положение в направлении оси Z (вверх и вниз) может производится двумя способами. Рычаг на левой стороне системы используется для быстрой смены позиции плиты главным образом для поднятия наконечников зондов от образца. Ручка вращения на правой стороне системы позволяет пользователю поднимать и опускать плиту с высокой точностью. Нижняя граница положения плиты определяется ручкой вращения.  

 

рычаг ручка вращения
 

Микропозиционеры: Если включены, микропозиционеры имеют микрометрические винты для регулировки игл зондов по оси X, Y и Z. (на картинке микропозиционер высокого разрешения 80 TPI)

 

микропозиционер высокого разрешения 80TPI

 

Вращающийся держатель

Вакуумный держатель смонтирован на вращающемся столике с возможностью вращения от 0° - 360° с точной регулировкой ±6°

 

rotating chuck

 

Панель связи с внешними устройствами

Контрольно-измерительные приборы могут быть подсоединены к манипуляторам зондов через панель связи с внешними устройствами. BNC соединители - стандартное соединение. Соединители других типов и их количество определяется по запросу заказчика. Комбинация Triax, BNC и banana-jack и вакуумных соединителей доступна. (на картинке передняя и задняя часть панели)

 

 

Вакуумный держатель с регулированием

Вакуумный держатель с регулированием имеет 3 опции для подачи вакуума на образец. Для пластин диаметром от 4 дюймов используется крайний левый тумблер (расположен слева от блока микроскопа) для включения /выключения вакуума. Для пластин от 1 до 3 дюймов используется средний тумблер. Для пластин и кусочков меньшего размера чем 1 дюйм используется крайний правый тумблер. Для образцов не имеющих гладкую поверхность (выгнутых, например) можно использовать комбинацию режимов (тумблеров) для обеспечения лучшего прижима. 

 

 

 

Кольцевой осветитель микроcкопа со стандартными микропозиционерами 40TPI и зондами (иглами)
 

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.