SPS-2600-VAC и SPS-2800-VAC - полуавтоматические аналитические вакуумные зондовые станции (analytical vacuum probe stations) производства MicroXact Inc. (США)

MicroXact Incorporated (США) - компания разрабатывает и производит широкий круг зондовых станций для контроля в производстве полупроводниковых прибор и исследованиях. Системы максимально доступны и легки в использовании. Сконструированные компанией MicroXact Inc. точные и надежные аналитические системы для зондовых измерений могут быть полностью оптимизированы под практически любую задачу и требования заказчика. Технически зондовые станции могут быть сконструированы для пластин диаметром до 200 мм. и сконфигурированы для измерений DC, RF, температурных и оптических измерений как в ручном так и в автоматическом режимах.

 

Вакуумные зондовые станции SPS-2600-VAC (SPS-2800-VAC)

Полуавтоматические вакуумные зондовые станция с высоким соотношением цена/качество с управлением с ПК или ручным управлением для исследований и мелкосерийных производств с возможностью апгрейда. DC и RF измерения, измерение емкости возможностью апгрейда.

 

Серия вакуумных станций SPS-2600-VAC и SPS-2800-VAC разработаны для тестирования в полуавтоматическом режиме на пластинах до 100 мм и до 200 мм в вакууме или контролируемой атмосфере. Система смонтирована на антивибрационной платформе. Система может сконфигурирована для множества применений.

Идеальная для проведения тестов без образования инея при температуре до 77К или повышенной температуре.

 

Брошюра SPS-2600-VAC и SPS-2800-VAC

 

 

 

 

Характеристики станции:

- Тестирование на пластинах до 100 мм. и до 200 мм

- Стандартная повторяемость/разрешение (+/-7 мкм/ 1,5 мкм) и высокая повторяемость/разрешение (+/-2 мкм/ 100 нм) по XY

- Повторяемость/разрешение по Z (+/-2 мкм/ 100 нм)

- Доступно как с ручным так и с моторизованным по Тетта столом

- до 4 или до 6 микроманипуляторов

- Проб карта может быть также установлена

- Цифровые микроскопы на выбор

- BNC, Triax коннекторы, DC и  RF зонды.

- Микропозиционеры высокого разрешения для микроманипулирования зондами

- Термо-крио держатель пластин с температурой от 77К до 680К

- Софт для контроля давления (опция)

- Возможность выбора средств откачки (фор насос или фор насос+турбина)

- Софт для автоматизации: XactTest™

 

 

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.