SPS-2800 - полуавтоматическая аналитическая зондовая станция (analytical probe stations) производства MicroXact Inc. (США)

MicroXact Incorporated (США) - компания разрабатывает и производит широкий круг зондовых станций для контроля в производстве полупроводниковых прибор и исследованиях. Системы максимально доступны и легки в использовании. Сконструированные компанией MicroXact Inc. точные и надежные аналитические системы для зондовых измерений могут быть полностью оптимизированы под практически любую задачу и требования заказчика. Технически зондовые станции могут быть сконструированы для пластин диаметром до 200 мм. и сконфигурированы для измерений DC, RF, температурных и оптических измерений как в ручном так и в автоматическом режимах.

 

Зондовая станция SPS-2800 (SPS-2800-PLUS):

Полуавтоматическая зондовая станция с высоким соотношением цена/качество с управлением с ПК или ручным управлением для исследований и мелкосерийных производств с возможностью апгрейда. DC и RF измерения, измерение емкости возможностью апгрейда. Увеличенная версия зондовой станции SPS-2600.

 

Зондовая станция SPS-2800 сконструирована для DC, RF и ёмкостных измерений, однако станция также может быть сконфигурирована для температурных и светочувствительных измерений и высоко частотных измерений. Станция полностью готова к апгрейду и возможности конфигурации под любые требования заказчиков. 

 

 

Характеристики станции:

- Тестирование на пластинах до 200 мм. (8 дюймов)

- 4 манипулятора зондов (2 слева и 2 справа) в стандартной конфигурации (до 10 шт.)

- Стереомикроскоп с длинным фокусным расстоянием и высоко мощнымным LED осветителем

- VXM моторизованный столик для перемещения по осям XY

- Диапазон перемещения по XY до 229 х 229 мм.

- Разрешение перемещения столика по XY - ±3,2 мкм (±0,8 мкм - SPS-2800-PLUS)

- Повторяемость - <6 мкм (<2 мкм - SPS-2800-PLUS)

- Точность - <25 мкм (<10 мкм - SPS-2800-PLUS)

- Перемещение по Z моторизовано.

- Перемещение по Z - 12,7 мм

- Разрешение перемещения по Z - ±0,8 мкм (±0,2 мкм - SPS-2800-PLUS)

- Повторяемость по Z - <1,5 мкм (<1 мкм - SPS-2800-PLUS)

- Точность - <6,5 мкм (<2,5 мкм - SPS-2800-PLUS)

- Точность наклона столика (вертикальная жесткость): ≤ 0,0015 мкм (при 10 кг загрузки)

- Перемещение по Тета: от 0° - 360°, ±6°

- Разрешение по Тета- 0,1° (0,05° - SPS-2800-PLUS)

- Управление с ПК и джойстиком

- COSMOS программное обеспечение, руководство по программе

- Экранирование от внутренних радиопомех (EMI shilding)

- Опции и апгрейд

 

Стандартная конфигурация:

- Платформа станции

- 4 манипулятора микропозиционера зондов (2 слева и 2 справа) в стандартной конфигурации

- 4 стандартных рук-зондов и вольфрамовые иглы зондов

- Стереомикроскоп с длинным фокусным расстоянием (цифровая камера - опция)

- Увеличение до 180х (до 4000х - опционально)

- Высоко мощным LED осветителем с регулировкой интенсивности освещения 

- Окуляры на 10х и 20х для микроскопа

- Вспомогательная 2х (Barlow) линза для микроскопа

- Стандартный безмаслянный или ультра тихий вакуумный насос для прижима

- Экранирование от внутренних радиопомех (EMI shilding)

 

Опции и дополнительные акцессории:

- Нагреваемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)

- Охлаждаемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)

- Нагреваемый / охлаждаемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)

- Держатели пластин: до 100 мм, 150 мм и до 200 мм.

- Обработка держателей: (полированная латунь, анодированный алюминий, позолоченная полированная латунь)

- Цифровая фото-видеокамера высокого разрешения: по выбору 9,1 ; 5,0 или 1,3 Мегапикселов

- Установка для перемещения микроскопа по XY в диапазоне 50 х 50 мм

- Консольная установка для перемещения по осям XYZ

- Программное обеспечение для камеры для снятия размеров и захвата изображения

- Апгрейд микроскопа для увеличения до 4000х

- Световое экранирование (защита) для светочувствительных измерений

- Экранирование (защита) от RF помех

- Лазерный или ультразвуковой резак

- Микропозиционеры высокого разрешения с вакуумной базой

- Микропозиционеры высокого разрешения с магнитной базой

- Полугибкие руки зондов с BNC соединителями

- TRIAX, BNC, Pin-plug соединители

- Зонды: активные, пассивные, ВЧ, триаксиальные, коаксиальные, с низким сопротивлением

- Microxact может использоваться со всеми основными производителями плат  

 

ОПИСАНИЕ:

 

Позиционирование:

XY столик: система позиционирования с обратной связью обеспечивает микронную точность для измерений. Шаговые моторы обеспечивают быстрое позиционирование по оси XY. Легкое и ручное позиционирование с использование 2-ух скоростного аналогового джойстика.

 

Платформа-плита зондовой станции:

Платформа зондовой станции моторизована для легкого перемещения станции вверх/вниз с использование удобного кулисного переключателя на передней панели станции.

 

 

Микропозиционеры: микропозиционеры высокого разрешения имеют микрометрические винты для регулировки игл зондов по оси X, Y и Z. (на картинке микропозиционер высокого разрешения 80 TPI)

 

микропозиционер высокого разрешения 80TPI

 

Программное обеспечение под операционной системой MICROSOFT WINDOWS для управления станцией

XY позиционирование пластин/подложек может быть реализовано с использованием VXM C.O.S.M.O.S. программного обеспечения.

Программное обеспечение включает:

- Программное обеспечение для управления и установки параметров зондовой станции для автоматических измерений

- Устройства самодиагностики для использования различных опций и увеличения функциональности  

- Onine поддержка

 

Automation Software (программное обеспечение для автоматизации работы станции)

Краткое описание:

Программное обеспечение генерирует и создает карту прибора, основанную на информации заказчика и пользователя. Пользователь может выбирать какие именно приборы  на пластине должны быть протестированы и измерены параметры ,а какие пропущены (перепрыгнуты) и система будет двигаться к первому прибору, который задал оператор. Далее идет измерения зондами по программе с выбором нужного зонда, далее к другому прибору на пластине и так до окончания всего теста. Все рецепты и результаты могут быть сохранены. ПО – LabView based и полностью настраиваемое.

MicroXact Inc. может предложить дописать и оптимизировать программное обеспечение под задачу заказчика! Такую возможность не предлагает ни один производитель на рынке.

 

 

Брошюра - automation software...

 

Вращающийся держатель

Вакуумный держатель смонтирован на вращающемся столике с возможностью вращения от 0° - 360° с точной регулировкой ±6°

 

rotating chuck

 

Панель связи с внешними устройствами

Контрольно-измерительные приборы могут быть подсоединены к манипуляторам зондов через панель связи с внешними устройствами. BNC соединители - стандартное соединение. Соединители других типов и их количество определяется по запросу заказчика. Комбинация Triax, BNC и banana-jack и вакуумных соединителей доступна. (на картинке передняя и задняя часть панели)

 

 

Вакуумный держатель с регулированием

Вакуумный держатель с регулированием имеет 3 опции для подачи вакуума на образец. Для пластин диаметром от 4 дюймов используется крайний левый тумблер (расположен слева от блока микроскопа) для включения /выключения вакуума. Для пластин от 1 до 3 дюймов используется средний тумблер. Для пластин и кусочков меньшего размера чем 1 дюйм используется крайний правый тумблер. Для образцов не имеющих гладкую поверхность (выгнутых, например) можно использовать комбинацию режимов (тумблеров) для обеспечения лучшего прижима. 

 

 

 

Кольцевой осветитель микроcкопа с микропозиционерами 40TPI и зондами (иглами)
 

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.