РЕШЕНИЯ И ПРИМЕНЕНИЕ - Решения для MEMS инспекции поверхности производства SENSOFAR.

Sensofar-Tech, SL - ведущая технологическая компания в области технологий оптической бесконтактной профилометрии, конфокальной микроскопии и метрологии поверхности. Компания разрабатывает и производит высокоточные оптические профилометры на базе методов интерферометрии и конфокальной микроскопии. Компания может предложить как стандартные решения для инспекции поверхности для лабораторий (R&D) так и решения по бесконтактной инспекции поверхности для промышленности, а также встроенные в производственный процесс системы. Sensofar предлагает решения для инспекции поверхности в полупроводниковой промышленности и исследованиях, точной оптике, в производстве запоминающих устройств, дисплеев, анализе тонких пленок.

 

РЕШЕНИЯ:

Используя научные знания нашей команды, Sensofar предлагает свой опыт для применения в области оптической метрологии для решения обширной области задач на многих рынках и в различных отраслях. Оборудование Sensofar применяется на всех этапах производства – начиная от лабораторных исследованиях и НИОКР и заканчивая аналитическими измерениями, дефектоскопией и т.п. в производстве. Sensofar предлагает решения для любых целей, которые вы ставите, даже для тех измерений, которые не могут быть произведены при помощи стандартных инструментов, представленных на рынке. 

 

От простых однократных измерений до метрологического проекта, от разработки небольших программных приложений до полностью созданной под конкретного пользователя оптической измерительной системы, Sensofar всегда рад представить вам самые современные и удобные для вас решения. 

 

MEMS

 

Приборы для измерения:

· PLu Neox
· PLu 2300
 

Акселерометр

 

Высокоскоростной акселерометр

 

 

 

 

 

 

Гироскоп

 

Двухосевой гироскоп, измеренный с  объективом при 5-ти кратном увеличении в режиме VSI. Представленное на рисунке поле зрения 2 мм2

 

 

 

 

 

 

Кремниевая мембрана

 

Si мембраны сделаны из протравленного кремния на несколько сотен мкм. Угол наклона стенок равен 54° - это важный параметр, характеризующий качество мембраны.

Шероховатость и угол наклона стен мембраны  измерены при 50X увеличении и 0.95 безапертурным объективом.

 

 

 

 

 

Микромотор

 

Статор микромотора измерен при 10X увеличении в VSI режиме

 

 

 

 

 

 

Датчик давления

 

Массив датчика давления. 10X увеличение в VSI режиме. Поле зрения = 1 мм².

 

 

 

 

 

 

Пришлите нам запрос на интересующий Вас профилометр по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.