3D оптический профилометр NEOX для инспекции поверхности производства SENSOFAR.

Sensofar-Tech, SL - ведущая технологическая компания в области технологий оптической бесконтактной профилометрии, конфокальной микроскопии и метрологии поверхности. Компания разрабатывает и производит высокоточные оптические профилометры на базе методов интерферометрии и конфокальной микроскопии. Компания может предложить как стандартные решения для инспекции поверхности для лабораторий (R&D) так и решения по бесконтактной инспекции поверхности для промышленности, а также встроенные в производственный процесс системы. Sensofar предлагает решения для инспекции поверхности в полупроводниковой промышленности и исследованиях, точной оптике, в производстве запоминающих устройств, дисплеев, анализе тонких пленок.

 

NEOX

3D Оптический профилометр

 

Sensofar  рад представить вам новый оптический 3D профилометр Neox. Данный профилометр – это прорыв в области бесконтактной оптической 3D профилометрии. Он сочетает в себе возможности конфокальной и интерферометрической профилометрии. Сочетание двух этих способов делает Neox уникальной системой, превосходящей по своим параметрам существующие на сегодняшний день оптические профилометры.


Neox разработан для получения быстрых неинвазивных измерений микро и нано-геометрии поверхностей различных конфигураций.  Эта система с технологией двойного сенсора очень удобна для научно-исследовательской деятельности и лабораторного анализа качества.

 

Основанный на технологии микро-дисплея, Neox позволяет производить быстрое конфокальное сканирование со скоростью до 12.5 кадров в секунду. Благодаря использованию технологии с отсутствием движущихся частей, компактным размерам и надежной модульной конструкции Neox является отличным аналитическим инструментом.

Опционально
Neox может быть оснащен спектроскопическим рефлектометром для обеспечения возможности измерения тонких пленок. Возможно измерение до 10-ти слоев пленок в диапазоне до 10 нм.

Neox имеет дискретность измерения от 0,1 нм до нескольких нм, оснащен двойным вертикальным сканером, который работает в комбинации с прецизионным подвижным столиком и пьезо- сканером. Это позволяет добиться наивысшей точности и повторяемости измерений среди приборов, представленных сегодня на рынке. 

Высокоэффективная подсветка и алгоритм высокого контраста идеальны для углового измерения поверхностей с крутизной склонов более 70°. Возможно производить измерения грубо обработанных и отражающих поверхностей, а так же образцов, содержащих разнородные материалы.

В
 Neox используются черно-белые, высокоскоростные CCD камеры с высоким разрешением в качестве метрологического детектора и цветная камера для осмотра поверхности в ярком свете и создания 3D моделей измерения.

 

Брошюра PLu NEOX - 2,1 MБ...

Описание на русском языке - 289 КБ...

 

Сферы применения Neox:

 

MEMS

Микролинзы

Призмы и пирамиды

ЖК дисплеи

Корпуса

Материалы

Солнечные батареи

Дефектоскопия

 

 

 

Пришлите нам запрос на интересующий Вас профилометр по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.