РЕШЕНИЯ И ПРИМЕНЕНИЕ - Решения инспекции поверхности для оптики и микрооптики производства SENSOFAR.

Sensofar-Tech, SL - ведущая технологическая компания в области технологий оптической бесконтактной профилометрии, конфокальной микроскопии и метрологии поверхности. Компания разрабатывает и производит высокоточные оптические профилометры на базе методов интерферометрии и конфокальной микроскопии. Компания может предложить как стандартные решения для инспекции поверхности для лабораторий (R&D) так и решения по бесконтактной инспекции поверхности для промышленности, а также встроенные в производственный процесс системы. Sensofar предлагает решения для инспекции поверхности в полупроводниковой промышленности и исследованиях, точной оптике, в производстве запоминающих устройств, дисплеев, анализе тонких пленок.

 

РЕШЕНИЯ:

Используя научные знания нашей команды, Sensofar предлагает свой опыт для применения в области оптической метрологии для решения обширной области задач на многих рынках и в различных отраслях. Оборудование Sensofar применяется на всех этапах производства – начиная от лабораторных исследованиях и НИОКР и заканчивая аналитическими измерениями, дефектоскопией и т.п. в производстве. Sensofar предлагает решения для любых целей, которые вы ставите, даже для тех измерений, которые не могут быть произведены при помощи стандартных инструментов, представленных на рынке. 

 

От простых однократных измерений до метрологического проекта, от разработки небольших программных приложений до полностью созданной под конкретного пользователя оптической измерительной системы, Sensofar всегда рад представить вам самые современные и удобные для вас решения. 

 

Оптика и микрооптика

 

Приборы для измерения:

· PLu Neox
· PLu 2300
 

Sensofar представляет превосходные инструменты для измерений в области оптических компонентов. Предлагаемые инструменты позволяют производить трехмерные измерения формы и законченных оптических поверхностей для определения параметров формы и текстуры. Используя высокие технологии, разработанные компанией Sensofar, PLu Neox, PLu 2300  способен производить измерения с высокой интерферометрической повторяемостью для исследования шероховатости, а высокое апертурное число и объективы с очень большой рабочей дистанцией в конфокальном режиме дают возможность 3D измерений с углом наклона до 71° на гладких поверхностях.

 

Сегодня микрооптика широко применяется в повседневной жизни. Использование микролинз увеличивает светопередачу портативных проекторов, тех проекторов, которые мы  покупаем для использования в системах домашних кинотеатров.

 

Использование линз Френеля для концентрации света высокомощных белых светодиодов позволяет добиться очень маленького компактного исполнения с высокой световой интенсивностью и низким энергопотреблением, что дало возможность их оптимального применения во вспышках цифровых камер. Другие разработки для биомедицинских целей увеличивают визуальные возможности эндоскопии и многоцелевого медицинского оборудования для исследований образцов тканей и химических субстратов.  Кроме того, оптические муфты, такие как VCSEL и микролинзы для концентрации света в микроскопических волноводах открывают поле исследований в области микросистем, известных как МОЭМС.

 

Форма и шероховатость

 

Для бесконтактного 2D измерения формы, PLu 2300 и PLu Neox может измерять профили длиной до 300 мм при использовании опций для расширения имеющихся по умолчанию возможностей. Это происходит путем измерения участков профиля и дальнейшего их программного «сшивания» для достижения необходимой длины. Максимальный угол наклона, измеряемого PLu 2300 равен 71°. Тем не менее, в связи с типичными особенностями линз невозможно исключить факт физического контакта линз при попытках измерения с очень большим увеличением. Sensofar предлагает лучшее решение на рынке для измерения углов до 35° при 100х увеличении с использованием объектива с супер длинным рабочим оптическим диапазоном и боковой выборкой до 100 мкм. В добавок, при исследовании шероховатости в режиме 3D есть возможность получения топографий поверхности от 91х68 мм до 4,9х3,7 мм за несколько секунд. PSI технология позволяет измерять топологию с повторяемостью 0,1 нм. Параметры шероховатости поверхности могут быть получены с полученных топологических снимков посредством применения специального фильтра, удовлетворяющего стандартам ISO и ASME.

 

 

Микро оптические компоненты имеют два основных требования к метрологии: неинвазивность и высокая точность. Проблема контактной профилометрии в том, что она может быть разрушительной для  измеряемых образцов, но она дает возможность измерения полного профиля и не зависит от световых рефлексов и локальных склонов. Вертикально сканирующая интерферометрия используется для исследования волноводов под покрытием. Примером может служить линейный массив линз.  

 

 

 

Для измерения модели массива цилиндрических линз был использован 50х 0,8 безапертурный объектив и технология «сшивания» изображений топологии. Локальные склоны поверхности имеют наклон более 30°.Оптический рассеиватель, выполненный на эпоксидной подложке. Бесконтактное измерение выполнено с использованием 20х объектива и 10х10 одиночных снимков. Поле зрения 7х5 мм. В добавок к интерферометрической технологии, конфокальная технология может быть использована без применения виброизоляционного стола. Высокая яркость и большое число апертуры делают оборудование идеальным инструментом для тестирования и исследования микро оптических компонентов в процессе разработки и производства.  

 

 

Пирамиды
 

3-х гранные призмы используются во многих устройствах. Оптическая профилометрия позволяет измерить углы наклона стен и угол между гранями призмы и ее высотой.

 

 

 

 

2D призмы

 

2D призмы используются для распределения света в ЖК панелях. Стандартный угол 45°, но современные призмы выполнены с углом 60°.

Призмы 2D с углом 45°. Использованный оъектив: 100X 0.9 безапертурный.

 

 

 

 

3D призмы


Конфокальная «сборка» изображения позволяет добиться полностью сфокусированного изображения в 3
D. Это производится путем 3D рендеринга изображений, полученных микроскопом.

 

 

 

 

 

Генератор шаблонов
 

Фазовый генератор шаблонов на стекле. Рисунок сделан лазерным лучем на стекле.

 

 

 

 

 

 

Дифракционный массив.
 

Дифракционные элементы выстроены в квадратный массив для собирания света.

 

 

 

 

 

Брошюра - применение в оптике...

 

Пришлите нам запрос на интересующий Вас профилометр по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.