SensoPRO - программное обеспечение (промышленная метрология) для инспекции поверхности производства SENSOFAR.

Sensofar-Tech, SL - ведущая технологическая компания в области технологий оптической бесконтактной профилометрии, конфокальной микроскопии и метрологии поверхности. Компания разрабатывает и производит высокоточные оптические профилометры на базе методов интерферометрии и конфокальной микроскопии. Компания может предложить как стандартные решения для инспекции поверхности для лабораторий (R&D) так и решения по бесконтактной инспекции поверхности для промышленности, а также встроенные в производственный процесс системы. Sensofar предлагает решения для инспекции поверхности в полупроводниковой промышленности и исследованиях, точной оптике, в производстве запоминающих устройств, дисплеев, анализе тонких пленок.

 

SensoPRO
Промышленная метрология 

 

Никогда еще промышленный метрологический контроль не был таким простым. Благодаря программному обеспечению SensoPRO и оптическим профилометрам серии PLu CP, оператору производственной линии необходимо лишь загрузить образцы для контроля в установку и следовать инструкциям программы. Программа SensoPRO непосредственно связана с программной частью оптических профилометров Sensofar. Используя программно заданный алгоритм, PLu CP производит сбор данных в режиме 3D и передает их в SensoPRO. Получив данные, SensoPRO производит необходимые вычисления в соответствии с выбранным режимом (алгоритмом) и параметрами. Существует несколько стандартных алгоритмов для анализа поверхностей, например для анализа корпусов микросхем в полупроводниковой промышленности. Разумеется, присутствует возможность создания новых алгоритмов и задания параметров для нетиповых производственных процессов.

 

Продвинутое управление

 

SensoPRO имеет два уровня доступа для управления системой – оператор и администратор. Уровень доступа в режиме «администратор» позволяет вносить изменения в настройки системы и редактировать процессные программы.

 

Автоматизированный метод контроля

 

Для проведения операций оператору необходимо  ввести идентификатор образца и тип измерений. Далее оператору нужно просто следовать указаниям, выводимым установкой на дисплей, установка сама спозиционирует образец и проведет измерения. По завершении всех операций оператору нужно просто извлечь образец, прошедший проверку.

 

Таблицы отчетов

 

Результаты измерений представляются в табличной форме с данными по каждому измеренному образцу. Благодаря выводу на дисплей вспомогательных сообщений о годности образца, задаваемых администратором, оператору не приходится самостоятельно делать выводы о результатах измерений, что ускоряет производственный процесс.

 

Модуль измерения корпусов микросхем

 

Один из программных модулей, доступных с комплексе – модуль для контроля  параметров корпусов интегральных микросхем. С системой  PLu CP возможно производить анализ до 14-ти панелей (технологии флип-чип) в час, включая загрузку, выгрузку, время для проведения измерений и вывод отчета.

 

BGA корпуса

 

Полный «Flip Chip» анализ.
• Количество контактных «шариков»
• Замер позиции каждого шарика
• Замер высоты каждого шарика
• Замер диаметра каждого шарика
• Компланарность шариков

 

 

Анализ отверстий

 

Быстрый 3D анализ отверстий.
• Замер верхнего и нижнего диаметра
• Замер эллипсности
• Замер высоты
• Замер шероховатости прилегающей поверхности
• Замер шероховатости дна

 

 

Анализ проводящих дорожек

 

Быстрое определение позиций и ориентации дорожек.
• Замер высоты
• Замер ширины дорожек и расстояния между дорожками
• Измерение шероховатости дорожек
• Измерение шероховатости междорожечной поверхности

 

 

Пришлите нам запрос на интересующий Вас профилометр по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.