Комбинированный лазерный эллипсометр-рефлектометр CER SE 500adv SENTECH Instruments GmbH

CER SE 500adv - уникальный комбинированный лазерный (сканирующий) эллипсометр-рефлектометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

 

SE 500adv это комбинированный прибор включающий в себя лазерный эллипсометр и рефлектометр.

 

Расширенный диапазон измерений толщин пленок от 1,0 до 25000 нм.

 

Высокая стабильность и точность при измерении с источником света (HeNe лазер, 632,8 нм.), термостабилизированный компенсатор, управление поляризатором, детектор сверх низких шумов.

         

Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ).

Полностью интегрированная поддержка для многоугловых измерений с продвинутым программным обеспечением SENTECH.

 

Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.

 

Технические характеристики:

 

Эллипсометр SE500adv:

 

Эллипсометр

Длина волны:      

 632,8 нм HeNe лазер (< 1 мВт)

Точность измерения ψ и ∆:      

 0,002о , 0,002о

Долговременная стабильность:  

 δ∆ = + 0,1о,δψ = +0,1о

Точность измерения толщины пленки:   

   0,01 нм на 100 нм SiO2 на Si

Точность измерения индекса преломления: 

5х10-4 на 100 нм SiO2 на Si

Диапазон измерений для прозрачных пленок: 

до 6 мкм

Диапазон измерений для слабоабсорбирующих слоев(полисиликон):

до 2 мкм

Время измерения

120 мс –  0,1с (зависит от режима измерений)

Диаметр светового пятна:  

   1 мм

Угол падения луча света:  

Ручной гониометр 40 – 90о, шаг установки 5о

Выравнивание образца, фокусировка:

 Автоколлиматический телескоп (АСТ)

Рефлектометр

Принцип действия:

 

Интерферренция белого света при нормальном угле падения

Спектрометр: 

Фотометр с матричным фотодетектором

Спектральный диапазон:                            

 450 – 920 нм

Время измерения:                               

30 – 300 мс

Диапазон измеряемых толщин:                

 50 – 25000 нм
Диаметр светового пятна:    80 мкм

 

Программное обеспечение SENTECH для проведения эллипсометрических измерений, включающее в себя библиотеку приложений

n, k массивного материала

толщина монослоев

толщина и индекс преломления монослоев

толщина  и  индекс  преломления  верхнего  слоя двойного слоя

заданные эллипсометрические приложения:

 

Опции:

 

30 мкм. микроспот (фокусировка пятна)

Столик с ручной регулировкой x-y (перемещение - 150 мм) для картирования (mapping)

Моторизованные столики для образцов с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением

Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС.

Жидкостная ячейка

Автофокусировка в комбинации с моторизованным столиком для образцов

Добавление диапазона длины волны (405 нм. и 1550 нм.)

ПО для иммитационного моделирования (SIMULATION Software)

Установка для измерений пленок на кристаллическом кремнии (текстурированном)

 

 

Пришлите нам запрос на эллипсометр SENTECH по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отделаоборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.