Спетроскопический эллипсометр SE 850 SENTECH Instruments GmbH

SE 850 - спектроскопический УФ-ВИД-ИК (UV-VIS-NIR) эллипсометр  производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок. Спектральный диапазон: 240 - 2500 (3500) нм

SE 850 - новейший UV-VIS-NIR (УФ-ВИД-ИК) спектроскопический  эллипсометр специально разработан для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно-  и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимом диапазоне длин волн (240 - 2500 нм.) с возможностью расширений спектрального диапазона до 190 - 2500 (3500) нм.

 

 

Технические характеристики:

 

Общие характеристики:

 

Спектральный диапазон:                       UV/VIS/NIR: 240…2500 (3500) нм.

Раpмер образца:                                   6”, опция: 8”

Подложка образца:                               Прозрачная / непрозрачная

Ручной гониометр:                                             Регулировка угла от 20-90º или 40-90º, шаг 5º, воспроизводимость 0,01º  

Измеряемые слои:                     Программное обеспечение не ограничивает количество измеряемых слоев. На практике количество измеряемых слоев определяется свойствами образца.

 

В комплект поставки включен мощный пакет программного обеспечения  SpectraRay 3 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение psi, delta, tan[psi], cos[delta], коэффициентов Фурье (S1, S2), интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения и угловой фазы.  SpectraRay 3 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

Описание SpectraRay 3 от производителя - SpectraRay 3.pdf

 

SENTECH опция маппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.

 

 

Опции:

 

200 мкм. микроспот (фокусировка пятна) и до 100 мкм по дополнительному заказу.

Управляемый компьютером моторизованный гониометр (40-90º), опционально (20-90º)

Столик с ручной регулировкой x-y (перемещение - 150 мм) для картирования (mapping)

Моторизованные столики для образцов с компьютерным управлением для образцов диаметром до 300 мм и перемещением

Криостат 4 - 700 ºК

Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС.

Автофокусировка в комбинации с моторизованным столиком для образцов

Рефлектометр (Film Thickness Probe) FTPadv с диаметром пятна 80 мкм.

ПО для иммитационного моделирования (SIMULATION Software)

Жидкостная ячейка

Столик с нагревом

Расширение спектра в ИК область

Измерение на просвет

Измерение 16-тизначной матрицы Мюллера

 

Пришлите нам запрос на эллипсометр SENTECH по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отделаоборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.