SENDURO - автоматическая эллипсометрическая измерительная система SENTECH Instruments GmbH

Высокопроизводительная автоматическая эллипсометрическая измерительная система SENDURO на базе УФ-ВИД спектроскопического эллипсометра с возможностью сканирования производства SENTECH Instruments GmbH (Германия).

 

SENDURO® - новый высокопроизводительный автоматизированный спектроскопический UV-VIS эллипсометр для измерения одно- и многослойных плёнок на прозрачных и поглощающих подложках.

Может применяться как в исследовательских целях так и в массовом производстве для измерения на подложках до 200 мм.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Основные особенности и преимущества:

 

Высокая скорость измерения образцов

Измерение толщин пленок от 1 нм. до 10 000 нм. (ультра-тонкие пленки)

Измерение оптических характеристик пленок

Полностью автоматическое выравнивание образца при измерении

Измерения на прозрачных и поглощающих подложках

Управление нажатием кнопки

Удобное программное обеспечение

Высокая точность измерений для любых образцов

Минимальная подготовка для инсталляции прибора

Не требует высокой квалификации оператора

 

Вся процедура измерения может занимать не более 10 секунд. Это время включает в себя все необходимые шаги для проведения анализа образца:

 

1.    помещение образца (пластины или кусочка) на предметный столик

2.    старт процедуры измерения нажатие клавиши ввода, где происходит:

2.1  автоматическое выравнивание

2.2. непосредственно измерение

2.3. расчет

2.4. вывод результатов на дисплей

3.    изъятие образца с предметного столика

 

SENDURO поставляется с большой библиотекой предустановленных применений для анализа одно- и многослойных пленочных структур.

Мощнейший программный пакет SpectraRay 3.

 

В комплект поставки включен мощный пакет программного обеспечения  SpectraRay 3  для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение psi, delta, tan[psi], cos[delta], коэффициентов Фурье (S1, S2), интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения и угловой фазы. SpectraRay 3  обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

Описание SpectraRay II от производителя - SpectraRay 3.pdf

 

SENTECH опция маппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.

 

 

Компания SENTECH также предлагает полностью автоматическую систему SENDURO с кассетной станцией для измерения на пластинах 200 мм. Система позволяет измерять толщину пленок в диапазоне от нескольких ангстрем до 50 микрон. Установка оснащена роботом для загрузки пластин из кассеты в кассету.

 

 

Пришлите нам запрос на эллипсометр SENTECH по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отделаоборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.