Установка реактивно-ионного травления RIE SI 591 Compact

 

SI 591 Compact - установка реактивно-ионного травления (RIE) производства SENTECH Instruments GmbH (Германия)

 

Высокая однородность и прекрасная воспроизводимость процессов травления

Вакуумный загрузочный шлюз

Управление всеми процессами через компьютер

Программное обеспечение SENTECH Software

Установка через стену для чистых помещений

Определение окончания процесса (end-point detection)

 

 

Система травления SI 591 Compact производства SENTECH Instruments GmbH предназначена для использования в НИОКР для реализации процессов сухого плазменного травления. Cистема SI 591 Compact успешно применяться для широкого спектра процессов, таких как травление III/V структур, диэлектриков (SiO2, Si3N4), кремния Si,  металлов (фторная/хлорная химия).

 

Система позволяет обрабатывать как пластины диаметром до 200 мм, так и кусочки.

Мощная двухступенчатая вакуумная система позволяет быстро откачивать камеру реактора и получать достаточно глубокий вакуум для проведения процессов травления.

 

Конфигурация системы:

 

ВЧ генератор 13,56 МГц, 600 Вт.

Душевая система распыления реакционных газов

Вакуумный загрузочный шлюз с подающей лопаткой

Изолированный, охлаждаемый электрод (-25ºC до 80ºC) для подложек диаметром 4-8 дюймов. Держатели для более маленьких образцов.

Контроль через компьютер (Windows XP)

Программное обеспечение SENTECH

 

 

Опции:

 

Добавочные газовые линии для коррозионных и не коррозионных газов

Термостат охладитель (5°С...40°С)

Кассетная станция (cassette to cassette)

Установка через стену (Through-the-wall installation)

Интерферометр (определение скорости травления, окончания процесса - endpoint detection)

Оптическая эмиссионная спектрометрия (NanoMES)

In-situ лазерная и спектроскопическая эллипсометрия (SE401, SE801)

Кластерная конфигурация

 

Пришлите нам запрос на данную установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.