Газовые шкафы SVCS s.r.o.

Газовые шкафы и системы доставки ультра чистых сред производства компаний SVCS (Чехия):

 

SVCS (Чехия)  - компания разработчик и производитель промышленных горизонтальных диффузионных печей для групповой обработки пластин для полупроводниковой промышленности и производства изделий фотовольтаики (производство солнечных элементов). Печи для атмосферной обработки и LPCVD и MOCVD процессов  (химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении), а также газовых шкафов и средств доставки ультрачистых сред.

 

Фирма «SVCS» была основана в 2000 году группой частных лиц, использующих долголетний опыт из разных областей деятельности – разработки и реализации систем управления, продажи ультрачистых компонентов и систем для распределения газа, разработки и производства точных механических систем и международной торговли.

 

SV-DELI  - системы доставки ультрачистых (UHP) газов и сред включает:

 

- Газовые шкафы для 1, 2 или 3 газовых баллонов

- Распределительные клапана

- Корпуса газовых систем и газовые панели

- газовые системы для полупроводниковых производств

- Газовые панели по индивидуальному заказу

 

Газовые шкафы:

 

Конфигурации:

- Открытые, смонтированные на стене системы (для инертных газов)

- Газовые шкафы для одного баллона с продувкой из внешнего источника

- Газовые шкафы для двух баллонов

Исполнение:

- место для установки двух баллонов с продувкой из внешнего источника и системой автоматической смены баллона в случае окончания газа в первом

- 1 баллон для процессного газа, 1 баллон для продувки

- Газовые шкафы для трех баллонов (2 баллона для процессных газов и один баллон для продувки), автоматическая смена баллонов  

 

 

Особенности системы управления:

 

- полностью автоматическая система управления и контроля с точскрин монитором

- Автоматическая продувка

- Контроль давления в баллоне и контроль веса баллона

- Датчик давления для контроля давления снаружи

- программатор для контроля лимитов по давлению и весу баллона для переключения между баллонами

- Внешние цифровые вход и выход

- Ethernet для связи по сети

 

Брошюра - газовые шкафы и системы подачи газов в pdf

 

Пришлите нам запрос на интересующую Вас установку по электронной почте (info@eavangard-micro.ru, или по факсу +7 (495) 482 0674 для отдела оборудования для микроэлектроники и мы подготовим и направим Вам коммерческое предложение в кратчайшие сроки.